当前位置： >> 华为ESD控制规范 DKBA华为技术有限公司内部技术规范DKBA4.04 代替DKBA3.03华为ESD培训教材 (新员工类)ESD控制规范 第一部分:静电放电控制总规范发布实施
华为技术有限公司Huawei Technologies Co., Ltd.版权所有 侵权必究 All rights reserved修订声明Revision declaration本规范拟制与解释部门:公司ESD项目组本规范的相关系列规范或文件:无 相关国际规范或文件一致性:无 替代或作废的其它规范或文件:DKBA3.03 ESD控制规范 第一部 分:静电放电控制总规范 相关规范或文件的相互关系:无 本规范版本升级更改主要内容: 由于部门变动, ESD组织机构中职责部门进行了修改; 其他分规范进行优化总 规范内容也进行了相应的调整. 本规范主要起草专家:生产工艺部:周迪红(26027) 器件可靠应用研究管理部:谢荣华(15243) 本规范主要评审专家: 器件可靠应用研究管理部:袁明川(2760),谢荣华(15243) 生产工艺部:刘红春(8154),周迪红(26027),罗榜学(2270) 产品试制工程部:吕耀东(26443) 质量管理部:刘剑(21505) 本规范所替代的历次修订情况和修订专家为: 规范号 DKBA3.03 周 DKBA2.08 迪 主要起草专家 主要评审专家 袁明川(2760),谢荣华 红 (15243),周迪红(26027),(2270) 刘红春 , (8154) , (26027),谢 罗榜学 (21505) 宋健 , (14779) , 荣华(15243), 刘剑 吕耀东(26443) 任衡 (21009) 樊家强 , (3497) , 史喜旺(15623)目 录1 遵循的政策和职责 .............................................. 10 1.1 1.2 1.3 2 外部供应商和分包商 .................................... 10 组织结构和责任主体 .................................... 10 人员职责 .............................................. 12ESD敏感分类 ................................................... 13 2.1 2.2 2.3 静电敏感评价模式 ...................................... 13 器件静电敏感分类 ...................................... 13 静电防护区域等级分类及基本的ESD控制措施 ............... 153防静电工作区(EPA) ........................................... 17 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 3.7 3.8 3.9 3.10 3.11 3.12 3.13 EPA划分和环境要求 ..................................... 17 固定,可移动和便携式EPA ............................... 19 防静电标识 ............................................ 19 防静电地板 ............................................ 19 防静电工作台 .......................................... 21 工作椅 ................................................ 21 设备,仪器,工装,工具 ................................ 22 人员 .................................................. 24 接地 .................................................. 25 防静电包装材料 ........................................ 29 周转工具 .............................................. 33 环境静电电压和高静电电压处理 .......................... 34 离子化 ................................................ 353.14 4防静电液 .............................................. 36人员防静电要求 ................................................ 37 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 4.6 人体电压 .............................................. 37 腕带 .................................................. 37 工鞋和鞋跟 ............................................ 38 工衣工帽 .............................................. 38 手套和指套 ............................................ 39 工作椅 ................................................ 405包装及其标识要求 .............................................. 40 5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 包装材料要求 .......................................... 40 包装ESD敏感器件 ....................................... 41 对非ESD敏感器件/组件的包装 ............................ 42 包装操作方法 .......................................... 43 标签及标识 ............................................ 446存储,周转,运输 .............................................. 45 6.1 6.2 6.3 存储 .................................................. 45 周转 .................................................. 46 运输 .................................................. 467工程现场 ...................................................... 47 7.1 7.2 7.3 7.4 人员和环境要求 ........................................ 47 接地要求 .............................................. 47 操作要求 .............................................. 47 包装处理 .............................................. 488防静电设计要求 ................................................ 498.1 8.2 8.3 8.4 9产品设计 .............................................. 49 装备和工装设计 ........................................ 49 制造工程设计 .......................................... 50 包装设计 .............................................. 50工程变更 ...................................................... 50 9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 9.6 人员变更 .............................................. 51 物料变更 .............................................. 51 产品变更 .............................................. 51 环境变更 .............................................. 51 工艺方法和操作指导文件的变更 .......................... 52 实施静电防护整改的变更 ................................ 5210 日常检查及测试要求 ............................................ 52 10.1 员工每日自查程序 ...................................... 5211 培训与认证 .................................................... 53 11.1 11.5 11.6 11.7 11.8 培训要求 .............................................. 53 认证要求 .............................................. 54 再培训与重新认证 ...................................... 54 撤回认证 .............................................. 55 ESD责任人员和稽查人员的培训认证 ....................... 5512 稽查与纠正 .................................................... 56 12.1 12.2 12.3 12.4 月度自检程序 .......................................... 56 内部季度审查程序 ...................................... 57 年度第三方审查程序 .................................... 57 对合作方的ESD稽查 ..................................... 5712.5 12.6稽查问题的纠正 ........................................ 58 ESD记录的保持要求 ..................................... 5913 防静电问题处理程序 ............................................ 59 13.1 13.2 防静电材料用品的认证 .................................. 60 ESD问题的反馈 ......................................... 6014 附录 .......................................................... 60 附录A--ESD术语和定义 (编号: DKBA4.04-TB01) .... 60 附录B--月度ESD稽查CHECKLIST (编号: DKBA4.04-TB02) ................................................................. 60 附录C--年度ESD审查CHECKLIST (编号: DKBA4.04-TB03) ................................................................. 60 附录D--防静电环境温湿度记录表 (编号: DKBA4.04-TB04) ................................................................. 60 15 参考文献 ...................................................... 61静电放电控制总规范范围 scope:本规范适用于华为技术有限公司及各子公司,合资企业,外协厂,供应商和合作方的生产 制造体系内部静电防护工程的设计,使用,管理,维护和检测.同时,此标准也适用于华为公 司的电子设备的最终用户的静电放电控制. 本规范适合于静电敏感器件静电敏感电压大于100V的保护.如果存在静电敏感电压更低的 器件,使用这些器件的责任者必须在此基础上增加必须的特殊防护要求. 本规范的目的在于: ⑴ ⑵ 减少或消除静电放电对电子产品的损伤, 提高产品质量和生产效率, 满足客户需求. 通过建立统一的,切实可行的标准来规范各生产工厂,不同产品,供应商和外协之间的ESD行为. ⑶ 通过建立有效的,高质量的管理和稽查程序,用于保证本标准的有效实施.简介 Brief introduction:本规范制定了静电产生及静电放电控制的程序和最基本需求,这些程序和需求适用于所有 涉及静电敏感器件,组件或产品的生产,组装,测试,维修,配置,包装和存储,外协加工等 所有环节. ESD控制规范由静电放电控制总规范和七个部分的分规范组成,ESD控制总规范全面提出了 公司静电防护的基本要求和方法,分规范分别从防静电标识,防静电包装材料,防静电检测方 法,人员防静电接地方法,装备&工装开发防静电设计要求,产品开发防静电设计要求,防静电 用品管理方法七个方面进行了详细的阐述,分规范是总规范的补充和完善. ESD控制规范各个部分名称和文件编号如下: 文件编号 DKBA3151.1 DKBA3151.2 DKBA3151.3 DKBA3151.4 DKBA3151.5 DKBA3151.6 DKBA3151.7 文件名称 ESD控制规范第一部分--静电放电控制总规范 ESD控制规范第二部分--防静电标识规范 ESD控制规范第三部分--防静电包装材料技术规范 ESD控制规范第四部分--防静电检测方法 ESD控制规范第五部分--人员防静电接地和测试方法 ESD控制规范第六部分--装备&工装开发防静电设计技术规范 ESD控制规范第七部分--产品开发防静电设计技术规范DKBA3151.8ESD控制规范第八部分--防静电用品管理方法ESD控制规范的各个部分的附录中常用的ESD表格如下: 文件编号 DKBA3151.1 附录表格 月度ESD稽查CHECKLIST 年度ESD稽查CHECKLIST 防静电环境温湿度记录表 无 无 各类防静电参数指标要求(表) 防静电设施功能参数检测记录表 防静电用品检测记录表 防静电腕带测试日记录表 人体综合电阻测试日记录表 装备&工装ESD测试验收表例 无 《防静电用品领用登记表》DKBA3151.2 DKBA3151.3 DKBA3151.4DKBA3151.5 DKBA3151.6 DKBA3151.7 DKBA3151.8本规范遵照ESDA(美国静电协会)和IEC有关的最新静电标准拟制,主要根据标准ANSI ESD S20.20:1999和IEC TR2:1998的要求来制定本规范的各类详细条款和描述,并参考引 用了ESDA的多类静电控制分标准,EIA的ESD标准,中国国家和行业相关ESD标准.本规范的指标 和要求与标准ANSI ESD S20.20:1999和IEC TR2:1998的要求相一致,并根据其他标 准要求作了部分调整,以使各类指标要求在我司现实的环境中更加有效,可行.关键词 Key words:EPA,ESSD,防静电,ESD,接地,包装材料,工具,仪器引用文件下列文件中的条款通过本规范的引用而成为本规范的条款.凡是注日期的引用文件,其随 后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本规范,然而,鼓励根据本规范达 成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件,其最新版本适 用于本规范. 序号 1 编号 ANSI ESD S20.20:1999 名称 Standard for the development of an ESD controlprogram. 2 IEC TR2:1998 Electrostatics―Part 5-1: Protection of electronic devices from electrostatic phenomena ―General requirements. 3 4 GJB1649-93 EIA 625-A 电子产品防静电放电控制大纲-中国国家军用标准. Handling electrostatic discharge sensitive (ESDS) devices. 5 6 ESD S6.1:1999 EIA 471:1980 Grounding―Recommended practice. Symbol and label for electrostatic sensitive devices. 7 IEC :1999 Electromagnetic compatibility (EMC)―Part 4-2: Testing and measurement techniques― Electrostatic discharge immunity test. 8 9 10 11 SJ/T 10533-94 SJ/T ESD SP10.1:2000 ESD S1.1:1998 电子设备制造防静电技术要求. 产品制造防静电系统测试方法. Automated handling equipment. Evaluation, acceptance, and functional testing of wrist straps. 12 ESD ADV1.0:1994 Glossary of terms.术语和定义 Term&Definition:本规范可能用到的静电方面的术语和定义分静电学基本概念,静电现象,防静电材料,静 电事故及其防护等方面进行了介绍,参见 附录 A -《ESD术语和定义》.1遵循的政策和职责华为公司所有实体的操作静电敏感器件, 单板, 模块 , 产品的人员均要遵守本规范,并以合同的形式规定所有的供应商, 包括内部和外部的分包商在供应或操作静电敏感物料时 遵从本ESD控制规范.实体的定义:⑴ ⑵ 华为各制造部,各职能部门,包含华为的用服,中研部门,外地研究所. 华为的合资和独资企业,外协工厂.1.1外部供应商和分包商一个华为公司外部的供应商或分包商进行ESD控制最基本要求: ⑴ ⑵ ⑶ ⑷ ⑸ 建立ESD培训制度,包括每年的周期性培训 ESD敏感等级分类定义 建立EPA区域 操作与包装的防静电要求 执行月度,季度,年度ESD稽查1.21.2.1组织结构和责任主体华为公司ESD控制组织结构 华为公司ESD控制组织结构框图:⑴华为公司ESD控制的组织结构分为核心层和执行层.核心层负责标准的制定,修改和组织结构,管理制度的建立,监督标准的实施.执行层负责标准的实施,检查, 纠正和反馈职能.稽查工作由核心层和执行层共同完成. ⑵ 每一个实体的主管是本规范的引入与执行的责任人,如果要修改或不采纳本规范的部分内容,则要提供证据如试验报告,引用文件等给华为工艺委员会ESD分会,经 ESD分会审查获得批准后方可修改,并应写在该实体专门的ESD控制文件中. ⑶ 建议涉及静电敏感问题的大部门(如供应链,中研,全球技术服务部,外地工厂等),根据管理需求建立一个静电防护秘书组,以协助主管启动和管理他们的ESD控 制体系. ⑷ 本规范规定了ESD稽查流程与ESD测试方法,用来监控是否遵照本规范执行,稽查的结果和改进措施,改进计划应报告给管理层与公司工艺委员会ESD分会,并且以报 告,板报等形式进行宣传. ⑸ ⑹ 1.2.2 该规范来源于华为公司静电控制经验和技术的积累. 当降低危险与ESD控制相冲突时,降低危险优先,首先满足安全要求. 华为公司ESD控制各职能部门职责 华为公司静电防护整改工作前期主要由公司ESD项目组运作,主要负责ESD规范和管 理制度的制定,培训教材拟制,组织结构建立,防静电专项整改等工作,ESD项目组完成前 期的整改和推动工作后,由各实体负责把ESD工作推向例行化,由各职能部门负责各自部分 的ESD控制管理工作和ESD专项工作. 各个职能部门的ESD控制工作职责: ⑴ 供应链 ESD控制工作例行化:质量工艺部总负责,供应链ESD工作小组作为前期秘书机构. ⑵ 生产现场规划防静电设计及验收:供应链工业工程部负责规划设计,质量工艺部组织评审决策小组(团队)进行验收,重要项目由供应链ESD工作组决策. ⑶ 防静电工具用品及测试仪器:防静电仪器工具用品由质量工艺部的生产工艺部负责认证,实施,维护,并完成ESD工具仪器的作业指导书.测试仪器的维护工作由仪 器计量室负责.公司公用ESD测试仪器由质量工艺部的生产工艺部统一保管. ⑷ 防静电物流周转工具,环境控制(如加湿系统):由质量工艺部的生产工艺部负责认证,实施和维护. ⑸ 防静电包装材料质量控制: 原材料来料包装防静电规格要求由采购部TQC提出;生产用防静电包装材料由结构设计部负责设计并提出其防静电性能规格; 原材料来料包装ESD保证和生产用防静电包装材料的来料质量控制的责任主体为 采购部的TQC,物料品质部负责来料的防静电要求检验和问题反馈. ⑹ 防静电测试:定期组织的例行ESD专项测试(如接地检测,周转箱周转车测试,包装材料检测等)由质量工艺部的生产工艺部组织完成. ⑺ 供应链ESD稽查:内部稽查由供应链质量管理部负责;外部稽查(包括外协厂,外包厂和供应商的ESD稽查)由采购部负责. ⑻ 产品工艺工序防静电处理:比如操作中防静电措施的实施,工序按照防静电要求进行设计调整,优化,防静电硬件设施的改进等,由生产工艺部负责. ⑼ 中研 实验室和库房ESD控制工作例行化:中研计划管理部总负责,研发ESD工作小组作为前期秘书机构. ⑽ 产品静电防护设计:产品硬件开发(硬件经理)负责产品防静电可靠性设计保证,产品工程室牵头组织产品静电防护设计工作的开展. ⑾ 产品辅助用防静电物料:产品使用的防静电辅料(如防静电胶带,防静电标签等)由工艺中心负责认证并推广实施. ⑿ ⒀ 装备防静电设计:装备中心总体负责. 全球技术服务部 ESD控制工作例行化: 各产品线管理办总负责, 技术服务部ESD工作小组(技术支援,备件库)作为前期秘书机构. ⒁ ESD培训宣传:各体系干部部负责组织例行的ESD培训工作,各体系ESD工作组,各部门主管和ESD接口人(部门主管可以指定一名ESD接口人协助部门ESD工作开展)负 责日常的ESD培训和宣传工作.1.3人员职责ESD控制组织结构各层次人员具有明确的职责分工. ⑴ ⑵ ESD赞助人:监督并决策公司ESD控制的重大决策性项目. 供应链质量工艺部主管:供应链ESD总负责. 中研计划管理部主管:中研ESD总负责. 全球技术服务部产品线管理办主管:全球技术服务部ESD总负责. ⑶ 工艺委员会ESD分会:负责公司级ESD防护的规划,审批和发布公司级ESD技术标准与相关操作规范,组织攻关解决ESD疑难和重大问题,重要问题裁决处理,保障产品 质量(不负责ESD例行运作),跟踪国际ESD技术发展趋势,推动合作和技术交流. ⑷ 各实体ESD工作小组:协助其主管负责各体系ESD控制的管理和组织工作,协助对本系统的ESD规范实施,ESD培训,宣传,稽查工作. ⑸ 果. ⑹ 员工:接受ESD培训和控制规范的学习,按照规范要求进行工作,并反馈存在的 各部门ESD责任人:各部门的行政主管为ESD责任人,负责本区域的静电防护效ESD问题和改进建议.2 2.1ESD敏感分类静电敏感评价模式技术文档和失效分析显示器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关. 一些影响器件ESD敏感程度的因素包括ESD电流,能量包络,电场强度,放电的上升时间,器件设计,制 造技术和器件的封装类型等. 能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻, 保护电阻等 的过电流引起.电压敏感性器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起.为了比 较不同器件的ESD敏感度等级,逐渐发展了三种测试模型,分别为人体模型(HBM),机器模 型(MM)和带电器件模型(CDM),其中最常用的模型为人体模型(HBM). 由于ESD损伤的复杂性,使用以上各模型定义的敏感度(用电压表示)并不一定是器件 在实际应用环境中的失效电压, 而只是提供了一种敏感度比较的标准. 具体的模型和测试方 法参见下面表格中所列的标准. 器件ESD敏感度测试标准: ESD模型 HBM ESD标准及测试方法 JESD 22-A114-B:2000 ESD STM5.1 MIL-STD-883 Method 3015 MIL-STD-750 Method 1020 MIL-PRF-19500 MIL-PRF-38535 JESD 22-A115-A:1997 ESD-STM5.2 JESD 22-C101-A:2001 ESD-STM5.3.1MM CDM2.2器件静电敏感分类静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM,MM,CDM三种模式来进行分类.一般来说,器件的静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必然的对应关系. 没有特殊说明时,本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题. 静电敏感组件的敏感等级按照其上所安装的最敏感器件的敏感等级来确定. 最初器件的ESD损伤主要采用HBM进行分析,随着电子技术和生产工艺的不断发展,MM 和CDM类型的ESD对器件的危害也越来越普遍,因此采用MM和CDM模式对静电敏感器件进行分 析的方法逐渐发展起来. 2.2.1 HBM模式的静电敏感等级分类 静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进行划分(人体带电和器件接触放 电) 所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个 , 等级: HUMAN BODY MODEL CLASS Class 0 Class 1A Class 1B Class 1C Class 2 Class 3A Class 3B 非静电敏感器件 2.2.2 MM模式的静电敏感等级分类 器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析(带电金属和 器件接触放电) 静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下 , 几个等级: MACHINE MODEL VOLTAGE RANGE 0 volts to ≤249 volts 250 volts to ≤499 volts 500 volts to ≤999 volts 1000 volts to ≤1999 volts 2000 volts to ≤3999 volts 4000 volts to ≤7999 volts 8000 volts to ≤15999 volts ≥16000 voltsCLASS M1 M2 M3 M4 2.2.3 CDM模式的静电敏感等级分类VOLTAGE RANGE &100 volts 100 volts to &200 volts 200 volts to &400 volts ≥400 volts器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析,静电敏感 器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级: CHARGED DEVICE MODEL CLASS C1 C2 C3 C4 C5 C6 C7 VOLTAGE RANGE &125 volts 125 volts to ≤250 volts 250 volts to ≤500 volts 500 volts to ≤1000 volts 1000 volts to ≤1500 volts 1500 volts to ≤2000 volts ≥2000 volts2.32.3.1静电防护区域等级分类及基本的ESD控制措施静电防护区域等级分类 所有进行静电敏感物料生产,操作,周转,存储的区域都是静电防护区域,都必须进行静电电压的控制,保护物料免受静电损伤. 华为公司的静电敏感器件主要有集成电路(IC),场效应管(MOS管),光电器件,厚 膜,板卡及其组件,产品,高静电敏感器件主要有CMOS,GaAsFET等高频高速器件. 在静电防护区域根据物料的静电敏感等级需要采用不同的控制措施使得静电放电控制 有效而且成本最低,需要对静电控制区域进行控制等级的划分.华为公司EPA划分为两个等 级,一级EPA和二级EPA.EPA等级的划分依据为存在静电放电危害的严重程度和产品的静电 敏感级别.一级EPA为静电放电严格控制区域,生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静 电高敏感级别的产品的制造区应划分为一级EPA.一般单板加工,单板测试,单板/模块组装 区域,高频度,大量使用静电敏感级别高于Class 1B的器件的产品制造区和使用静电敏感级 别高于Class 1A的器件为产品的极关键器件的产品制造区应定义为一级EPA,如无线产品和 传输产品制造区.一级EPA采用全面严格的静电防护措施. 二级EPA为基本的静电放电控制区域,涉及静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定 义为二级EPA,必须实施最基本的静电放电控制措施. 2.3.2 静电防护区域基本的ESD控制措施 一级EPA和二级EPA的划分应在综合评估的基础上进行,他们的控制措施要求按照下 表实施: ESD控制措施 静电电压控制标准 区域封闭性 出入口单向控制 防静电标识 防静电地板或地垫 防静电桌垫 防静电腕带 防静电工作手套,指套 防静电工作服 防静电工作鞋 防静电工作椅 腕带测试仪和人体电阻测试仪 ESD自动测试记录仪 防静电烙铁 防静电吸锡器 静电产生材料禁止带入EPA 非防静电包装的拆包 离子风静电消除器 一级EPA 小于100V 要求 可选 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 区域外操作 要求 二级EPA 小于250V 不要求 不要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 不要求 要求 要求 要求 区域外操作或独立工位操作 可选接地系统监控仪 用于产品的常用装配,调试及辅 助工具防静电 防静电周转工具 防静电包装材料 静电电压表和表面电阻测试仪 防静电文件夹 防静电作业指导书袋 防静电液 防静电状态卡要求 全部要求不要求 部分要求要求 要求 要求 要求 要求 可选 要求要求 要求 可选 可选 可选 可选 可选一级和二级EPA区域的划分及其控制措施主要适用于生产制造系统,其它实体如实验室 可以引用但不限于此.3防静电工作区(EPA)在通常的电子设备生产,组装和维护现场,各种静电产生材料和由他们所产生的电场是很普遍的现象,这些静电产生材料和由其所产生的电场有可能导致静电敏感器件的损 伤.因此,在静电敏感器件的整个使用过程都要对其进行保护. 在静电敏感器件的存储和转送过程中,具有屏蔽性能的导体容器可以提供必要的保护. 但是,对于静电敏感器件也还存在着屏蔽容器外的操作.在这种情况下,静电敏感器件非常 容易受到损伤,因此,有必要提供一个安全的工作区域.防静电工作区(EPA)正是为此目 的而设计.为了确保工作台的防静电安全,它必须满足以下要求: ⑴ ⑵ 防静电区域内的所有电子元器件都要视为静电敏感器件对待. 对于任何在保护状态之外(处于法拉第笼之外)的静电敏感器件的操作,都必须在防静电工作区内进行. ⑶ 在防静电工作区之间的非防静电区域传送的静电敏感器件必须处于安全的保护状态. ⑷ 防静电工作区的设计应能保证静电敏感器件不易接触到仪器设备的金属接地外壳. ⑸ 防静电工作区内禁止放置工作不必须的静电产生材料,如未作防静电处理的塑料袋,盒子,泡沫,带子,笔记本,纸片,个人用品等物品,这些材料必须距离静电 敏感器件30厘米以上. ⑹ 所有在工作台上使用的清洁剂,溶剂,涂覆材料,气雾剂等辅助材料都必须经过静电控制负责人的批准.3.13.1.1EPA划分和环境要求EPA划分 防静电区域的划分以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则,只要可能出现静电敏感物品,则应定义为防静电区,否则可定义为非防静电区.防静电区域的边界范围由工 艺部门与区域防静电责任人共同确定. 防静电工作区(EPA)包括但不限于以下区域: IQC检验区域,单板加工及检验区域, 单板测试及检验区域,部件装配及检验区域,整机装配及调测区域,维修区域,试验区域, 理货区域,器件和物料分发区域,仓储区域等. 划分EPA的同时应该根据该区域中操作的物料的静电敏感级别和生产时存在静电放电 的风险程度进行EPA等级的划分,参见第2.3节的要求. 3.1.2 EPA的基础环境要求 在进行EPA环境设计时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则: ⑴ ⑵ ⑶ 抑制静电荷的积累和静电压的产生. 安全,迅速,有效的消除已产生的静电荷. 确定静电防护所应达到的程度.如一级EPA内静电电压绝对值应小于100V.因此,EPA必须具有如下的基本环境要求: ⑴ ⑵ ⑶ ⑷ 明确的区域界限和防静电警示标志. 对区域内的所有导体包括人员可靠接地. 消除一切不必要的静电产生源. 运用12英寸原则,即ESSD器件必须远离静电源至少30厘米处.同时,需要考虑如下周边环境的防静电性能: 墙壁面料应使用抗静电型墙纸,一般情况下允许使用石膏涂料或石灰涂料墙面,禁止使用普通塑料制品. 天花板材料应选用抗静电型材料制品,一般情况下允许使用石膏板制品,禁止使用普 通塑料制品. 工作区内使用的门帘,窗帘,区域隔离帘等应是防静电材料制成,表面电阻值应小于1 ×10 Ω,禁止使用普通塑料和化纤制品. 3.1.3 EPA的温湿度要求 防静电工作区有必要进行温度和湿度的控制, 湿度控制是静电防护的一项关键措施. 华为公司EPA的温湿度控制要求: ⑴ 生产制造和维修区域属于静电高风险区域,温度和湿度控制要求:11温度:20~30℃ 相对湿度(RH):45~75% ⑵ 其他防静电工作区环境的温湿度应满足一般要求:温度:20~30℃ 相对湿度(RH):30~75% ⑶ 产品物料对环境温湿度有特殊要求时,应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施. ⑷ EPA内应配备温度计和湿度计,并在每班次上班之前作一次记录.当相对湿度超出规定的范围时,必须通知工艺人员协调动力维护,环卫等部门采取适当的加湿或抽 湿措施,如往地面喷洒适量水(符合安全要求),使用加湿器或抽湿机等.3.2固定,可移动和便携式EPA根据静电敏感器件的实际操作环境划分的EPA可以是一个区域,工作台,推车,工作台垫,货架或传送带中的任何一种,同时包括静电敏感器件周围1米内的范围. EPA可以是固定的,可移动的或便携式的. ⑴ 固定EPA是指必须使用工具拆除导线,水管或其他固定物才能移动的工作区,如一般生产制造区域. ⑵ 可移动的EPA在移动时不需要工具来拆除连接,如防静电推车.生产中一些特殊操作和库房的捡料分料操作可以使用防静电推车实现一个移动的EPA,此时推车的表面 必须铺设防静电台垫并使台垫具有接地通路(软接地).⑶便携式工作区是一个带有接地系统的防静电工作表面,可以很方便的从一个区域携带到另一个区域,如用服防静电工具包.工程现场为了便于ESD控制,工程人员可 以使用一块特殊的防静电垫,该防静电垫必须具有接地措施并有防静电腕带的接地接 口,并配备一些辅助的防静电工具.3.3防静电标识防静电工作区,防静电包装材料和转运工具,设备仪器的接地等都应该具有防静电标识. 防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员, 区域内存在静电敏感器件的 操作;警示任何接触静电敏感器件的人员,对该器件的操作必须进行静电防护. ⑴ 任何防静电工作区都必须有区域标识, 除非此工作区位于静电安全工作区内. 标识上应注意说明,如&注意:静电安全工作区&或其同意语. &放电&, &注意&, &危 险&等标示对静电控制是不合适的. ⑵ ⑶ EPA标识所在的位置及其大小应该至少保证在距离工作区1米时清晰可见. 除了在合适位置的防静电标识之外, 应该使用黄底黑字的地板胶带将每一个防静电工作区围起, 同时还需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和 控制说明. ⑷ 防静电器材, 工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识, 防静电接地系统应有明显的接地标识说明. ⑸ 防静电标识严格按照《防静电标识规范 》DKBA3151.2 执行.3.4防静电地板EPA的地板材料必须采用静电耗散材料制作,具有减小摩擦起电和利于静电电荷泄放的防静电性能.EPA内的防静电地板是人体静电泻放的主要通道. 禁止在防静电区域内直接使用易于产生静电的地板材料,如木质地板或铺设毛,麻, 化纤地毯,塑料及普通地板革,抛光打蜡木地板,普通乙烯树脂的地板等. 允许使用经特殊工艺处理过的水磨石地面和混凝土地面,如事先敷设地线网,渗碳或 掺其他导体杂质等. 已有的普通地板如果采用地面抛光防静电地板蜡,该地板只是具有减小摩擦起电的性 能,不具有防静电的接地泻放性能,因此该种方法只是一种临时措施,当环境发生变更有必要重新设计防静电地板. 当采用地板下布线方式时,可铺设防静电活动地板.在有些特别的情况下也可以铺设 防静电地垫. 在普通地面上铺设防静电地垫和防静电活动地板后, 都必须保证每块之间实现 电连接且使地板和地垫有效接地,应串联1M Ω的电阻接地(即软接地). 当采用架空布线方式时和新设计防静电地板时,应采用静电耗散材料做为地板制作材 料,以保证地板防静电性能的持久性. 及任一点与地之间的系统 防静电地板和地垫表面两点间电阻为≥1×10 Ω≤1×10 Ω; 接地电阻值为≥1×10 Ω≤1×10 Ω. 各种地板材料的电阻特性参照下表: 地坪材料名称 导电性水磨石 导电性橡胶 石 混凝土(干燥) 导电性聚氯乙烯 泄漏电阻(Ω) 10 ~10 10 ~10 10 ~10 10 ~10 10 ~107 5 4 4 5 74949地坪材料名称 一般涂刷地面 橡胶 木,木胶合板 沥青 聚氯乙烯(贴面)泄漏电阻(Ω) 10 ~10 10 ~1010 9 9 12813910 ~10 10 ~10 10 ~1012 111310131115防静电地板的使用管理应按照下列要求执行: ⑴ ⑵ 防静电地板的表面电阻和接地电阻每半年至少测量1 次,记录保存测量结果. 在工作地面上使用防静电地垫时,每半年至少检查1次地垫的接地状况并测量表面电阻和接地电阻,记录保存测量结果. ⑶ 采用抛光防静电地板蜡的地面,至少3个月检查测量一次地面的表面电阻,并记录保存测量结果. ⑷ 当地板和地垫上附着有绝缘性的油膜,树脂和橡胶时,应及时清除.地垫的清洗必须使用中性洗涤剂或防静电剂. ⑸ ⑹ 禁止在防静电地板上使用绝缘性的地板腊. 防静电地板性能测试方法和管理参照 《防静电检测方法》DKBA3151.4 和本规范第13节的防静电稽查程序 执行.3.5防静电工作台防静电工作台表面应该由静电耗散材料构成,所有接触到它的带静电器件都会通过它表面对地的分布电阻缓慢安全的泻放到地.防静电台表面应该耐磨,耐化学腐蚀,耐热并 且可靠接地. 串接电阻的导体表面并不是好的防静电工作表面, 因为它可以由于它的电容效 应而快速吸收带电器件上的电荷,从而导致器件损伤.并且,导体表面有可能导致放在上面 的带电组件内部短路. 防静电工作台是EPA构成的必要部分,因此防静电工作台也有固定的,移动的和便携式 的. 华为防静电工作台主要采用在工作台上铺设防静电台垫,防静电台垫必须满足下面要 求: ⑴ ⑵ 防静电台垫的尺寸应不小于工作台面的大小. 防静电台垫必须正面(即防静电面,绿色和灰色)朝上,背面(即导电面,黑色)朝下铺设. ⑶ 防静电台垫连接到防静电工作台的公共接地点(Grounding common point),再由工作台的公共接地点直接连接到接地母线上接地.每块台垫必须且只需接一根防静 电地线,各个防静电工作台的接地线不能相互串接,应以并联方式与接地母线连接, 工作台接地参见3.9接地要求. ⑷ 压接防静电台垫的静电接地线联接端子时应从防静电台垫的正面压下,使其穿过台垫并紧固,以保证电接触良好. ⑸ 防静电台垫上任意两点之间的表面电阻为≥1×10 Ω≤1×10 Ω ,防静电台5 9 5 9垫上任意一点到防护地线上的的系统接地电阻为≥7.5×10 Ω≤1×10 Ω,防静电台 垫上静电泄放至100V以下的时间小于1秒. ⑹ 当防静电台垫上附着有绝缘性的油膜,树脂和其他污物时,应及时使用中性清洗剂或防静电剂进行清洁.3.6工作椅EPA内的操作者所坐的工作椅必须由静电耗散材料制成,具有防静电性能,不得使用普通人造革面,化纤面料或塑料面的椅子,不能用木制椅代替防静电椅. 防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方(椅垫,靠背或扶手)到工作椅的任意一 个导体脚轮的电阻应该满足≤1×10 Ω(不依赖于相对湿度),工作椅系统接地电阻应满足 工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V以下的时间小于 ≤1×10 Ω;9 92秒. 采用拖链的方式对工作椅接地的方法在接地电阻上效果非常差,除非工作椅在移动的 过程中,否则接地效果非常不好.在清洁的导体地板上,效果会好一些.但是在通常的制造 区域,接地链和橡胶的导电脚轮上由于灰尘的原因而容易失效.因此,导电脚轮需要定期清 洁.推荐工作椅至少两个脚轮使用金属锌制轮子. 在评估选择工作椅时,需要考虑工作椅对人体的安全性能,还需要从人体工程学的角 度考虑舒适性.3.7设备,仪器,工装,工具防静电工作区内的各种设备,仪器,工装(装备),工具都应实施静电防护措施,例如接触或靠近静电敏感器件(ESSD)的部分应尽可能使用防静电材料(静电耗散材料), 对特殊情况下不可避免须使用非防静电材料(表面电阻RS≥1.0×10 Ω)时应采用静电中和 或定期涂抹抗静电剂,涂层等其他防护措施,有效地消除,抑制或泄放静电. 使用高压电源具有金属外壳的设备,仪器,工装,工具必须选用三芯电源插座,并确 保其已可靠连接到保护地线上,以使其配接时设备,仪器,工装,工具的金属外壳能够自动 接保护地.插头插入电源插座(通电)时其接地端要首先接地,插头从插座中拔出(断电) 时其接地端应最后断开. 防静电工作区内各种设备,仪器,工具,工装的防静电接地,由设备工程师或指定责 任人定期检测,维护和监控,每班开工前检查一次,确保其接地良好. 3.7.1 设备 落地设备如SMT,波峰焊机,FT自动线,ICT自动线,清洗机,流水线等,台式设备 如元器件成型机,半自动或手工插件机等都应直接与电气保护地线相连. 设备上接触ESSD的部件和靠近ESSD的运动摩擦部件必须采用防静电材料或导体材料制 作,并保证这些部件具有可靠的接地通路,这些部件禁止使用非防静电材料.设备上的导体 部件必须采用硬接地. 具有自动传送带或滚筒式的流水线,线体应接入电气保护地线系统. 传送静电敏感5 11器件及组件的流水线的自动传送带应使用防静电材料,其表面电阻RS:1.0×10 Ω≤RS&1.0 ×10 Ω,并通过静电导体,如静电导体传送轮,与线体连接. 流水线体上的工装板通过其表面的静电导体与线体连接.如果线体不能在正常时间内9有效地泻放工装板在流动过程中积聚的静电, 则应增设若干个导电轮, 并保证每个工装板底 部同时与至少两个导电轮始终接触.导电轮全部统一接地. 设备上的台面根据实际需要可以铺设防静电台垫并进行软接地,但是台垫的铺设不得 影响设备的正常运行或带来其他危害. 自动流水线体按作业岗位的需要,设置静电放电接地点,以便操作者能随时连接防静 电腕带. 3.7.2 仪器 防静电区域内使用的测试仪器应具有防静电性能,仪器的电源线必须具有电气保护 地线并通过插座与电气保护地连接, 仪器的外壳需要采用导线与电气保护地直接连接, 实施 加强接地措施. 测试仪器系统必须具有公共接地点,并且并联接地(禁止串连接地)保证仪器等电位 接地. 3.7.3 工装(装备) 装备和工装的结构应使用导体材料和防静电材料进行设计,不应使用容易产生静电 的普通塑料材料,在工程中常用的橡胶,塑料,化纤,有机玻璃等高分子材料都属工装慎用 材料,有防静电要求时必须对这些材料进行防静电处理或用防静电材料取代. 工装(装备)上和被测件直接接触以及接近被测件的具有摩擦和移动性质的结构件必 须使用防静电材料或导体材料,并保证这些部件具有接地通路. 装备外壳,装备上的导体材料应采用硬接地方式,但是接触静电敏感元器件的部分使 用了金属材料, 如果该金属部件没有构成人体安全隐患时则应当将其进行软接地 (例如放在 防静电垫上接地).装备上的静电耗散材料应具有软接地通路,装备设计也要保证被测件接 地良好. 测试装备的接地设计应该与测试仪器等同, 采用并联接地的公共接地点接地, 保证接地 路径最短,接地回路最小,不能串联接地,应避免采用外接电缆连接接地回路的设计方式. 如果由于特殊需要,工装上接触静电敏感元器件的部分,运动摩擦部分使用了非防静 电材料,则应该采用静电中和或定期涂抹抗静电剂,涂层等其他防护措施.DKBA3151.6 工装和装备的防静电技术要求按照 《装备&工装开发防静电设计技术规范》执行. 3.7.4 工具及辅助材料 EPA内使用的工具应具有防静电性能, 使用AC电源的工具必须具有硬接地措施接入电气保护地,使用电池的工具和气动工具需要采用软接地,接地电阻&1.0×10 Ω. 防静电烙铁的金属外壳应接保护地,烙铁头必须具有硬接地通路,烙铁头的接地电阻 要求&1.0Ω,由于烙铁头的高温氧化问题,日常检查测试时烙铁头接地电阻&20Ω可以接 受. 防静电烙铁,防静电真空吸锡器等电动,气动手工工具在使用前应首先接地. 清洁单板和产品的毛刷必须使用防静电毛刷,材料的电阻满足1.0×10 Ω≤R&1.0× 10 Ω,摩擦电压小于100V或静电电压耗散到100V以下的时间小于2秒.禁止使用普通塑料 毛刷. 工具在使用过程中应不易产生静电,工具手柄若是绝缘材料则应定期涂抹抗静电剂, 使其电阻值满足 1.0×10 Ω≤R&1.0× 10 Ω,并且无安全隐患. 工具上需要接触ESSD的部分应避免使用导体和绝缘材料,接触静电敏感元件的工具如 IC起拔器,镊子,吸锡器等必须是静电耗散材料的工具. 用于接触ESSD的一些辅助材料应满足防静电要求,洗涤剂,清洗液,粘胶纸,标签, 胶带等材料应选取无腐蚀,不易产生静电,易于泻放静电的防静电材料,如果由于特殊原因 选取了非防静电材料,使用时应进行静电中和处理. 单板的清洗应使用中性清洗剂和防静电毛刷,禁止使用普通塑料毛刷,清洗时应带好 防静电腕带.6 11 11 4123.8人员人体的运动和操作过程是产生静电的主要根源,任何进入防静电区域或接触(包括直接和间接接触)ESSD(静电敏感器件)的人员,必须严格遵循防静电规范,贯彻执行静电 防护措施. 人员防静电基本要求: ⑴ 接受防静电知识培训和教育是对每位员工的基本要求,是减少静电危害的根本方法和途径之一.EPA内的工作员工必须经过ESD培训并认证合格. ⑵ 所有人员进入EPA前必须穿好防静电工作服和防静电工作鞋,已配发工作帽的还必须戴好工作帽.无防静电工作鞋的,必须穿防静电鞋跟或防静电鞋套,不允许穿着 不具备防静电功能的塑料防尘鞋套进入防静电区域. 工作服外部严禁携带除工卡和笔之外的金属物件和塑料物件,员工不得把个人物品如 个人衣物,食品,香烟,各种塑料和纸类制品带入EPA. 更换工作服应在指定地点进行,不允许在生产现场穿,脱工作服.防静电工作服,工作鞋等要勤洗勤换,建议至少每1周洗换1次,员工着装工衣,工鞋, 工帽无破损污秽现象. ⑶ 进入防静电区域的所有作业人员,接触产品的其他人员,每天上岗前应使用腕带测试仪对所配发的防静电腕带进行测试,并做好测试记录;每天上岗前应使用人体 综合电阻测试仪对自身人体综合电阻进行测试,并做好测试记录. 防静电腕带或人体综合电阻测试未通过者,不得进入防静电区域,更不得接触ESSD(静 电敏感器件)及组件.腕带测试未通过的的,必须立即到本部门更换或接待部门借用 合格的防静电腕带.人体综合电阻测试未通过的,必须立即查找原因并作出相应处理, 直至合格为止. ⑷ 外来参观人员原则上只能沿通道行走,不得靠近或接触产品.需要进入EPA的临时或外来工作人员必须通过人体电阻的测试并记录,佩戴腕带的必须通过腕带测试并 记录才能进入,在其作业过程中,不得靠近操作静电敏感器件的工作人员,也不得靠 近或徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品,如果要接触或操作静电敏感器件和 产品,必须佩戴腕带. ⑸ 员工在进行操作时需要遵循要求: a,保证腕带和人体接地良好; b,使用符合ESD要求的防静电工具和材料; c,按照防静电作业指导书要求操作,不得裸手接触器件管脚; d,不被操作的ESSD处于防静电包装状态中和放置在防静电容器中; e,静电产生材料和静电源远离ESSD 30cm以上. 人员防静电硬件要求参见第7节.3.9接地接地是静电泻放的关键措施,EPA内必须有独立可靠的防静电接地系统,工作中产生的的静电才能安全有效地泻放,避免静电的累积. 防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地母线(防静电地线),所有人体,工作 台,台垫,工具等以并联的方式接入防静电接地母线. 3.9.1 防静电地线的设置 防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电电荷使用,它不得接在电源零线上, 也不得与防雷地线共用.防静电地线有两种敷设方法: 方法1:优选方式(专用的防静电地).从专门埋设的地线接地体引出的接地线,单独 敷设到生产线的防静电作业岗位;单独敷设的接地导线通常使用3mm厚,约25mm宽的紫铜皮或用截面大约为4~6mm 的铜芯软线单独引入.防静电工作台应建立公共接地点,公共接地点 的接地方式优先选择公司专用的防静电接地,防静电工作台上所有的设备,仪器,工具及相 关人员的防静电接地从公共接地点引入(如图1).2防静电专用地线工作台面 备用(可选) 防静电接地极防静电岗位公共接地点 防静电工作区图1 采用ESD防静电接地示意图 (1)防静电区域可以设置单点或多点的公共接地点,公共接地点之间为并联结构,公 共接地点接地导线采用黄绿色,导线直径不得低于2.5 (2)落地的专用设备,测试仪器在使用电气保护接地后没有必要进行防静电接地,电 气保护地与设备,仪器外壳必须进行可靠连接. (3)严禁使用防静电接地线作为设备保护接地线. 方法2:备选方案(电气保护地).采用三相五线制供电系统中的电气保护地线为防 静电地线,引入电源零线的同时,单独引出大地地线作防静电接地线,工程上称为&一点引 出电阻隔离&.电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩(地线埋设方法)与大地连 接,电气保护地线到大地的保护接地电阻应小于4Ω.在防静电地不具备的,或特殊场合公 共接地点的接地方式可以采用设备保护地,参考图2.(详细内容参考 Grounding recommended Practice ESD S6.1-1999).2L N PE电源接地极L N 交流配电箱 防静电岗位 PE 电器装置外露导体 负载工作台面 备用(可选)公共接地点 防静电工作区图2 采用电气保护作为防静电接地示意图 (1)采用电气保护地与公共接地点连接时,公共接地点与电气保护地(控制箱中)之 间的阻抗小于1.0 Ω; (2)人体腕带,台垫,防静电器具等串连1MΩ的电阻接入公共接地点(软接地),设 备,仪器,AC工具等直接接入电气保护地线(硬接地). 电气保护地线应该按照动力配电安全管理制度定期进行检测维护,每半年至少检测一 次地线配置系统电阻值,要求室内电气保护地线到大地的接地电阻小于4Ω. EPA内接地方法 EPA内防静电工作台上的所有仪器,AC工具,金属体及等必须连接到公共接地点上,人 体腕带,防静电台垫,防静电地垫,导体和静电耗散的材料防静电器具等需要串接1MΩ电阻 (或等效串接1MΩ的电阻)后连接到公共接地配置系统上. 设施的接地线宜采用黄绿色或黄色线,连接点应该采用螺钉,焊接,双线交绕的紧固 连接方式, 保证连接点连接可靠, 接触电阻小, 禁止使用鳄鱼夹, 挂接等不可靠的连接方式. 下图为一个典型的EPA接地系统:如图3L N PE14 2 456 3 1 B 4356212B 101A 10A 10 公共接地点 10 13公共接地点87 11 专用防静电线 13 11 12 13 149 E131 工作台 2 防静电台垫 3 台垫接地扣 4 腕带插孔 5 防静电器具6 设备/仪器/工具 7 防静电地垫 8 地垫接地扣 9 防静电工作椅 10 接地线防静电地板 落地设备/仪器 防静电地(建筑厂房外) 电气保护接地(建筑厂房外)A,B,C,D,E为串接 或等效串接1M欧姆电阻图3 典型的EPA接地系统图EPA内的接地需要满足下列要求: (1) 防静电工作台的接地采用公共接地点(Common point ground)方式,工作台上及其周边的仪器,测试架,工具(如电批,烙铁),防静电器具,台垫,台面,地垫,腕带插 口等都连接到公共接地点(接地连接排).工作台的公共接地点应方便连接,工作台的移动 时保证接地系统变化最小. (2)防静电工作区应在合适的位置提供接地端子或香蕉插孔,以便于操作者腕带的接地.接地端子到防静电线之间的电阻应小于1Ω .(3) 在落地设备,流水线,产品整机等上面本身应提供防静电腕带的接地接口,接口接地 线从电气保护地引入,接口形式为香蕉插口.(4)当工作台接触到它附近的最高可能电压时, 工作台表面的到地电阻应能保证最大对地漏电不超过0.5mA. (5)9静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在7.5×10 Ω≤R&1.0×510 Ω(不依赖于相对湿度). (6) (7) 防静电工作区第一次安装和移位后,接地电阻应该重新测试,并保证在规格之内.为了防止静电敏感器件与工作区内的设备接地导体外壳或大面积的金属(如工作台边缘)偶然接触,这些位置必须覆盖静电耗散材料或通过其他方法隔离. (8) 所有连接电源主线的设备,仪器,工具等,都必须可靠地和电源系统安全地线相连接.单相电源插头插座必须使用具有接地芯的三芯插头插座,且仪器工具,设备的外壳都要 增加加强接地线,采用紧固连接. (9) 所有静电敏感器件, 单板在加电测试之前都必须保证接地良好, 因此禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件,除单板具有热插拔设计和特殊测试需要外. (10) 腕带的接地线应该直接接香蕉插孔,而不应该通过任何其他设施,如工衣,工作表面等接地. (11) 串联接地是不可接受的一种接地方法. 高静电敏感产品制造装配区域建议采用ESD接地保护监控仪,以保证人体(腕带)(12)和台垫的实时可靠接地. 如果使用,应该每年进行功能测试并校准. (13) 机柜在测试过程中必须接电气保护地线,机柜的装配过程中,如机柜上有ESSD,也必须进行接地. (14) (15) 由于安全原因, EPA内裸露的大面积金属平面, 导体部件都必须直接接地 (硬接地) . 防静电工作台的接地推荐采用公共接地点(Common point ground)方式,工作台上及其周边的仪器,测试架,工具(如电批,烙铁),防静电器具,台垫,台面,地垫,腕 带插口等都连接到公共接地点(接地连接排)后,再从公共接地点连接到电气安全地线上, 要求所有物品到安全地线上的硬接地电阻小于1Ω .工作台的公共接地点方式便于接地连 接, 工作台的移动可以保证工作台的接地系统变化最小. 工作台的公共接地点接地方法参见 下图4:图4 工作台的公共接地点接地方法3.103.10.1防静电包装材料防静电包装材料的防静电性能要求 静电敏感器件,组件,产品在生产制造,存放和运输中所使用的包装材料必须是防静电的,因此EPA内所使用的包装材料应该是静电耗散材料,要求其防静电性能指标满足: 表面电阻Rs:1.0×10 Ω≤ Rs &1.0×104 411Ω; Ω;体积电阻Rv: 1.0×10 Ω≤ Rv &1.0×1011摩擦静电压Vf :Vf &100V 或在2 秒内下降到100V以下; 屏蔽袋的屏蔽泄漏电压:小于30V. 防静电包装材料必须符合以下一般要求: 1) 发货用ESD防护的屏蔽袋, 吸塑盒应该在明显位置有ESD警示标识, 吸塑盒还应该在明显位置标有生产日期;粉红色防静电PE薄膜袋,防震用的防静电EPE板,防静电海绵和泡罩袋,泡罩带类可以无标识,具体按设计图纸要求执行. 周转用的ESD防护的屏蔽袋,吸塑盒,EPE应该在明显位置有ESD警示标识,生产厂商和 生产日期及有效期. 2)所有防静电标识参照ESD控制规范 第二部分 防静电标识规范 执行. 3) 防静电PE薄膜袋,泡罩袋, EPE板,海绵,泡罩带的材料颜色应采用防静电的通用警示颜色,即粉红色或黑色. 4) 用于包装ESD敏感器件的防静电材料在温度为25±5℃和相对湿度为25%±5%的环境下,应满足规定的防静电性能指标要求. 5) 原则上不允许对用于ESD防护的包装材料使用防静电液作简单的表面喷涂处理,其防静电性能应该由材料本身具有的物理特性, 塑料材料添加导电材料或其它特殊的工艺 来满足. 6) 7) 防静电包装材料的防静电性能必须均匀分布. 用于ESD防护的包装材料不能有异味,不能对所包装的器件有腐蚀作用.8) 防静电包装材料应满足华为公司新颁布的相关环保规范Q/DKBA3002. 9) 单板级的防静电包装应能满足至少100V的静电防护水平, 其直接包装层可采用屏蔽袋,吸塑盒等包装方式,间接包装层可采用防静电缓冲材料(如防静电泡沫EPE,防 静电泡罩袋等),直接包装层,间接包装层至少有一层是静电屏蔽材料(静电屏蔽的实 现可以采用金属屏蔽层,低阻值材料容器,纸箱内侧涂炭层等方式).模块(定义为有 金属件外壳,但有单板接口外露)直接包装层可采用粉红色PE防静电袋包装,间接包装 层可采用防静电缓冲材料(如防静电泡沫EPE).整机级的包装采用防潮袋的包装方式, 包装外的缓冲材料(如EPE)可以不做防静电要求. 具体防静电性能指标见下表:周转用包装材料直接包装层 表面电阻 : ≥1 ×10 Ω~&1 单板级 ×10 Ω9 3发货用包装材料直接包装层 方案一: 屏蔽材 间接包装层 方案一: 表面电12间接包装层 表面电阻 :&1 ×1011外包装层Ω料 (表面电阻 : 阻 : &1 ×10 ≥1×10 Ω~& 1 ×10 Ω;屏 蔽泄露电压: 小9 3(推荐使用:≥1× 10 Ω~&1 ×10 Ω)9 11Ω (推荐使用: ≥1 ×10 Ω~&19--于30伏)×10 Ω) 方案二: 屏蔽材11方案二: 表面电 阻 :≥1×10 Ω~&1 ×10 Ω3料 (表面电阻 : ≥1×10 Ω~& 1 ×10 Ω;屏 蔽泄露电压: 小 于30伏)9 311表面电阻 : &1 ×10 模块级11表面电阻 :&1 ×1012表面电阻 : &1 ×1011表面电阻 : &1 ×1012ΩΩΩΩ --(推荐使用: ≥1 ×10 Ω~&1 ×10 Ω) 表面电阻 : &1 ×1012 11 9(推荐使用:≥1× 10 Ω~&1 ×10 Ω)9 11(推荐使用: ≥1 ×10 Ω~&1 ×10 Ω) 表面电阻 : &1 ×1012 11 9(推荐使用: ≥1 ×10 Ω~&1 ×10 Ω)11 9Ω --Ω ---整机级(推荐使用: ≥1 ×10 Ω~&1 ×10 Ω)12 9(推荐使用: ≥1 ×10 Ω~&1 ×10 Ω)12 9注: 1, 如果母板上有器件的静电防护等级&4000V,母板的静电防护按单板级处理,否则 按模块级处理; 2, 如果外包装层材料没有防静电性能,外包装材料不能进入EPA区域; 3, 有防静电要求的包装材料,周转用防静电性能使用寿命至少大于一年;发货用防 静电性能使用寿命至少大于半年; 4, 当原器件的静电敏感度低于4000伏特时,其静电防护按单板级处理(如果有特殊 需要应增加必须的特殊防护要求),当原器件的静电敏感度高于4000伏特而低于 16000伏特时按模块级处理; 5, &―&代表&无防静电要求&. 防静电包装材料的防静电性能必须通过检验测试合格才能用于器件,产品包装. 新式 防静电包装材料必须经过结构设计,工艺部门的评审,经过防静电性能的认证测试,认证合格才可以上编码采购使用;采购来料需要经过公司的来料检验部门(IQC)的接收测试(抽 检)合格才能接收;进入公司的防静电包装材料应进行不定期的稽查抽测,用以验证其防静 电的有效性. 防静电包装材料的详细技术要求和检验方法按照 《防静电包装材料技术规范 》DKBA3151.3 和 《防静电检测方法》DKBA3151.4 执行.注意:A. 此处仅对有防静电要求的物料而言,无防静电要求的包装物料不受此限; B. 严禁未通过静电安全测试认证的包装材料用于生产和产品; C. 特殊器件对包装材料的特别要求,按实际需要予以满足. 3.10.2 防静电包装材料的使用华为公司目前使用的防静电包装材料主要有: 粉红色防静电PE袋,吸塑盒,粉红色防 静电气泡袋,粉红色防静电泡沫板和气泡带,多层防静电屏蔽袋等,同时可以有效利用供应 商的器件来料的防静电包装材料(如IC管,IC托盘等),这些防静电包装材料都可以用于静 电敏感器件,组件的直接包装或间接包装. 直接包装层指和器件直接接触的材料,例如IC包装管,芯片托盘,卷带,防静电泡沫, 防静电胶袋,屏蔽袋,吸塑盒等. 间接包装层指和直接包装层接近的部分,对器件提供防静电,防震等保护但不和器件 直接接触,如卷盘,防静电泡沫,防静电胶袋,防静电气泡袋,吸塑盒等,部分包装可能无 间接包装. 外包装指物料的最外层包装,如纸箱,木箱等,一般不作防静电要求(但是不能采用 高静电的塑料材料作最外层包装),特殊要求根据具体情况处理. 粉红色防静电气泡袋应和屏蔽袋配合使用,用于屏蔽袋外的防震,防挤压碰撞. 粉红色防静电泡沫板和气泡带一般用于用于间接包装,放置在直接的防静电包装材料 的外部作填充,防震,防碰撞. 各类静电敏感物料的直接包装材料推荐选取: 物料类别 典型包装 型材 元器件 IC管 防静电托盘 防静电屏蔽袋 组件 单板 部件 整机 防静电袋(PE 袋或屏蔽袋)防静电屏蔽袋 防静电屏蔽袋 防静电袋(PE 防静电成型泡 防静电吸塑盒 袋或屏蔽袋) 沫 防静电泡沫盒静电敏感器件原则上应采用法拉第笼的包装方式,即处于屏蔽保护状态之中.因此所 有ESSD在使用前不得拆开防静电包装, 拆包和器件操作必须在防静电工作台上进行, 位于EPA 内不被操作的ESSD也应采用屏蔽包装放置.处于被操作状态和在EPA内运转的ESSD一般不要 求屏蔽处理. 由于IC 管和吸塑盒对高静电敏感器件不能提供足够的防护,因此CDM模式低于500V的 高静电敏感器件应不采用IC管和吸塑盒包装,该类高静电敏感器件的包装必须采取屏蔽措 施. 一些高静电敏感器件可以使用金属短路器 (隔离器) 处理器件的管脚 (如光放大模块) . 严禁在防静电包装材料外部使用普通塑料胶带,拉伸膜等高静电材料缠裹处理,需要 捆扎时应采用防静电胶带或橡皮筋. 在日常的ESD检查和例行的ESD稽查中应对生产现场的防静电包装材料(包括器件来料 包装)进行防静电性能的抽测,以检验包装材料防静电性能的时间有效性,对于防静电性能 失效的包装材料应直接作报废处理. 严重破损,形变,受污染的防静电包装材料也应直接报废更换.3.11周转工具用于EPA内,EPA和EPA之间周转运输的工具必须是防静电的.其防静电性能应满足:表面电阻Rs:1.0×10 Ω≤ Rs &1.0×10 Ω; 体积电阻Rv: 1.0×10 Ω≤ Rv &1.0×10 Ω; 摩擦静电压Vf :Vf &100V ; 周转车台面对车轮系统电阻: &1.0×10 Ω. 常用的周运工具有:周转箱,周转车,防静电器件盒,防静电成形泡沫盒(生产周转 用防静电成型泡沫盒表面电阻为1.0×10 Ω≤ Rs &1.0×10 Ω≤ Rs &1.0×1010 93939310Ω;体积电阻为1.0×103Ω)等,防静电周转工具在其醒目位置必须贴有防静电警示标识.防静电器件盒一般为黑色或深色,主要用于器件的周转和临时存放. 防静电成形泡沫盒一般为粉红色或黑色,主要用于小单板的周转和临时存放. 周转箱通常用于周转或临时存放单板.当周转箱为防静电材料时,一般为黑色,内侧 有隔槽,可直接将单板插入其中并保证单板的垂直放置和相互隔离;若周转箱为纸质材料, 则单板必须单独采用防静电袋或吸塑盒包装后才可放入纸箱. 装入屏蔽袋的单板在纸箱中不能平放,必须竖放,且单板之间须用隔槽或防静电泡沫相互隔开,防止碰撞. 周转车分为单板专用周转车和普通周转车.单板专用周转车专用于单板的转运或临时 存放,通常由金属车架,防静电车轮和多层防静电槽位或金属网组成,单板可直接插入槽位 或通过周转箱再置于各金属网层上. 普通周转车一般未采用防静电材料, 必须借助防静电周 转箱来转运单板, 因此静电敏感物料不得直接采用普通周转车转运, 并且要求用于公司生产 制造环境的周转车必须是防静电的. 周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接. 周转车必须至少 有两个轮子是防静电的, 在此基础上再增加接地链, 缺一不可. 由于周转车属于移动式接地, 有时轮子接地不可靠,需要铁链进行接地补充. 使用防静电周转车和周转箱较长时间存放单板(如存放于库房)时,应采用防静电屏 蔽袋罩住周转车, 采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口, 以保证其防静电效果并防灰尘.3.123.12.1环境静电电压和高静电电压处理EPA静电电压要求 在防静电工作区内任何物体上的静电电压都不应该超过100V, EPA内任何充电的或可充电电压超过100V的物体应该保持距离静电敏感器件30厘米以上,并使EPA外部的高静电源 远离EPA 1米以上距离. 墙壁一般可以在防静电工作区和走廊等非控制区之间提供足够的屏障,但是还是需要 测试来验证. 如果现有的墙壁不能对静电场提供足够的衰减, 那么就需要在墙壁中或墙壁上 附加接地的导体层, 在墙壁上使用表面活化剂或表面处理也是一种较好的增加墙壁屏蔽效果 的方法.部分小区域也可以采用放置金属隔离体(如金属货架等)提高对电场的隔离衰减, 对静电防护要求较高的区域可以设计封闭式的防静电工作区. EPA的环境静电控制参见第6.1.2节的环境要求. 对进入EPA内的物料,设备,工具应进行ESD审查控制,制定高静电物品的控制措施, 特别是一些必须进入EPA的高静电的生产物料,必须有严格的防静电处理措施和操作规程. 3.12.2 静电产生材料的控制 原则上不允许静电产生材料进入EPA区域,因实际需求必须进入EPA的静电产生材料 需要进行适当的控制,使静电风险减至最小. 所有不必须的普通塑料材料和纸张(食品袋,饮料杯,塑料架子,报纸等)不允许带入EPA,并严禁这些材料接触ESSD. 必须进入EPA的静电产生材料必须保证不得和ESSD接触,如果因操作原因需要和ESSD接 触(如塑料面板和PCB的装配等),则需要对ESSD进行防护,如使用防静电材料进行局部高 静电部分的隔离或屏蔽处理,同时消除静电产生材料产生的静电(如离子化处理). 纸张由于应用的普遍性,而且其产生和积聚的静电能量很低,一般认为纸张属于低静 电风险材料,可以允许在EPA内使用(仅限于普通纸张,粘胶纸和塑膜纸等除外)并和ESSD 接触.但是高静电敏感器件(HBM CLASS 0 和 CDM CLASS 1)不得和纸张接触. 3.12.3 高静电电压处理措施 EPA内存在高于100V的静电源必须采取正确的防静电处理措施,如显示器,键盘,工 具和装备上的静电源,特别是必须进入EPA的高静电生产物料(如不防静电的包装材料,产 品上的塑料制品等). 防静电处理的主要措施有离子化,防静电剂,分区分时操作,屏蔽隔离,接地等. 产品上的塑料材料在生产中的操作,非防静电包装材料的操作应遵守分区和分时操作 的原则, 即这些静电产生源首先应在EPA外独立专门的区域操作, 使其和静电敏感器件隔离, 必须进入EPA时应和静电敏感器件分时段操作,避免同时操作时高静电对器件的影响. 对于距离静电敏感器件30厘米以内并且测试电压高于100V的显示器,采用透明的导体 屏蔽层(性能优良的视保屏)或相类似的材料是一个很好的方法(要求视保屏的接地). 当高静电电压通过接地方式泻放处理时应采用软接地方法,接地电阻不得小于1 × 10 Ω ,泻放电流不得大于人体安全电流,即5mA,因此特殊条件下应根据电压的实际情况 确定接地电阻的大小. 工装和装备中, 操作测试过程中有静电难以消散的静电源应考虑使用静电消除装置 (如 离子风机)或防静电剂. 在制造过程,装备和工装中静电风险较大的部位可以安装静电场(静电电压)自动检 测记录传感器,用于监测,统计分析高静电风险部位的静电情况.53.13离子化如果工作区或局部区域经常存在500V以上的静电电压,或者附近工序的物体是易带静电的,那么静电控制就要使用空气离子化的方法. 离子化是使EPA内的空气产生很多自由的正负离子,正负离子量相等,保持离子浓度平衡,用此大量的处于平衡状态的离子中和静电源产生的电荷,消除高静电电压.离子化的主 要设备有离子风机,电离棒等. 离子风机是EPA内较常用的一种防静电处理装置,可以用于各种静电源的消除.例如生 产工艺采用的一些辅助材料(胶纸带,标签)的操作,产品上的塑料材料在生产中的操作, 非防静电包装材料的操作都使用可以离子风机. 离子风机应按照仪器的使用说明书正确安装操作,如离子风的方向,作用范围,作用 距离,定期(至少每月)检测离子平衡度和电荷消散时间,并进行调校. 离子风机的使用维护要求: A. 对于静电控制中采用离子化方法,必须保证离子化能够一直工作并且安装在合适的 位置. B. 空气离子化必须能够保证对EOS/ESD协会S3.1-1991标准要求的放电平板放置在防静 电工作区上,从1000伏下降到100伏的中和时间要求小于10秒(最大风量,作用距离 3Fit). C. 当空气离子化作为ESD控制的主要方法时,离子化机的性能必须每周测试并纪录.如 果离子化机具有不平衡告警功能,那么测试可以按月进行.在任何情况下,都应该 至少每月对离子化机的离子平衡度进行测试,以保证在厂家的规格之内. D. 空气离子化机应该编号而且测试数据按编号来纪录. E. 电离器的尖端应该按照制造商的要求定期清洁和更换. F. 核离子器的同位素(如钋-210)应该每年或按照厂家的要求定期更换. G. 离子化机的特性测试方法:测试充电平板(Charged Plate)的电荷消散时间,同时 通过测试浮地的平板上的电压来测试平衡度. H. 华为公司离子风机的平衡度要求小于±15V,静电消散时间要求从1000伏下降到100 伏的时间要求小于2秒(中档风量,作用距离1Fit).3.14防静电液防静电液(防静电剂)属于一种导电性喷剂,均匀喷涂于材料表面,以改善材料表面的导电性能,主要应用于绝缘材料表面,可以使绝缘材料的高表面阻抗减低到10 ～ 10 Ω ,使其满足防静电要求,属于一种临时,应急,短期的防静电处理措施.因此采用防 静电剂的处理问题应从设计和材料上进行防静电问题的彻底改进.105对于采用表面处理(防静电剂)来提高起防静电性能的效果要保证每周检查并纪录, 并且要根据需要及时更新处理,一般处理周期不得少于每月一次.在每年相对湿度小于20% 的时间里,要保证更新处理频率至少每周一次.注意:部分表面防静电处理剂有可能导致聚 碳酸酯塑料变脆裂缝. 大部分对CRT显示器进行表面防静电剂的处理效果并不足够好,特别是对于开机和关机 时浪涌的控制而言. 由于防静电剂改变了材料表面的电性能, 因此防静电剂的使用受到限制, 材料的表面电性能 改变会影响设备或产品的相关电气性能的时(如漏电)严禁使用防静电剂,如产品和设备上 有电气连接的部件在使用防静电剂时必须进行相关的实验评审. 防静电剂主要用于工具和工装上的静电产生部件的临时表面处理, 产品上一般不允许使用防 静电剂. 工装和装备中必须使用的或没有改进的绝缘材料和静电源在使用防静电剂进行防护处理时, 应满足要求: A. 防静电剂的有效性时间很短,对处理部位必须定期(每月或更短)均匀涂覆. B. 防静电剂原则上只允许对工装和装备上的非加电部位进行涂覆,不允许对产品和器 件进行防静电剂涂覆. C. 防静电剂的使用必须进行试验测试,不能影响工装,装备,产品的电性能,避免漏 电现象的发生.4 4.1人员防静电要求人体电压人体的运动是静电产生的主要根源,人体是EPA内最大的静电源,对人体静电压的控制我们通常采取减少静电电荷的产生和人体接地释放静电电荷两种方法同时控制, 主要通过 戴工帽,手套,指套,穿工衣,工鞋,佩带腕带,使用防静电椅等方式加以控制,使得人体 产生的静电安全地释放,达到ESD防护的目的. 人体静电释放可以通过防静电腕带,工鞋,工作椅的接地途径释放,并要求人体静电 的释放电流小于5mA,因此腕带,工鞋,工作椅必须具有一定的接地电阻(软接地). 人员防静电操作规范参见第6.8节的要求.4.2腕带员工在操作ESD敏感器件的时候,应该佩带防静电腕带并接地.当ESSD处于防静电容器的保护状态中,如转运,存储操作,操作人员不要求带腕带接地. 腕带由手腕带(松紧圈)和接地线两部分组成,带腕带的作用是提供一个安全的静电 释放通道.腕带具有一定电阻值,该电阻值是手腕带内表面到地的电阻值.可拉伸的弯曲接 地线与手腕带的内表面连接,接地线的材料是导体,手腕带的内表面是导电材料(导电织物 或导电橡胶),手腕带外表面应该是绝缘或耗散材料.接地线一端串接有一个1MΩ的限流电 阻并与腕带扣连接,另一端可保持与EBP相连(ESD接地点).接地线串接电阻以确保操作者 意外触及高电压时不致发生人身伤害, 该电阻的选择原则是, 一方面应保证操作者在触及高 电压时流过人体的电流不大于5mA,另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄 放,使皮肤上的静电小于100V,一般该电阻阻值取为10 Ω. 腕带防静电性能参数要求: 接地线电阻:1MΩ,可接受范围1MΩ±20%; 手腕带内表面电阻:小于100KΩ; 手腕带外表面电阻:大于10MΩ; 腕带系统接地电阻:0.75×10 ～1×10 Ω; 静电泄放至100V以下的时间:小于0.1s . 腕带佩带方法:将腕带扎于手腕处,不能松动,手腕感觉四周握紧.保证手腕带内表 面与皮肤良好接触,接地线与EBP连接. 腕带接地应采用香蕉插头,插孔的连接方式,一般应避免使用鳄鱼夹的接地方式. 严禁使用无绳防静电腕带. 当正确佩带上腕带时,由手到EBP端的电阻应该满足腕带系统接地电阻的要求,该电阻 要求员工每日测试记录,测试方法按照 《人员防静电接地和测试方法》DKBA3151.5 执行. 为了可靠的监控腕带接地的情况,在一级EPA区域里或一些重点的防静电控制工位应该 使用ESD接地保护检测控制器,可自动检测腕带的接地,当腕带接地失败时实时报警,提醒 操作人员纠正. 对于ESD接地保护检测控制器的有关信息参见《人员防静电接地和测试方法》6 7 6DKBA3151.5 .由于佩戴腕带是人体最基本的静电控制措施,因此所有操作ESSD的员工都要佩戴腕带, 包括实验室的开发人员.4.3工鞋和鞋跟为使人体有效接地,防止人体和鞋本身带电,并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害, 除应将车间地面作成防静电地面以外, 操作者应穿用具有防静电作用的工作鞋, 而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用. 防静电鞋底应具有使人体与大地构成放电回路的材料和结构.华为公司要求防静电工 鞋的体积电阻满足5×10 ～5×10 Ω,人体穿着防静电工鞋的系统接地电阻满足0.75× 10 ～100×10 Ω. EPA区域内的工作人员必须穿防静电工鞋,人体通过工鞋到EPA地面的电阻(人体综合 电阻)应该满足工鞋接地系统电阻的要求.人体综合电阻要求员工每日测试记录,测试方法 按照 《人员防静电接地和测试方法》DKBA3151.5 执行. 穿防静电鞋时不得另加鞋垫,特别是绝缘性鞋垫,同时员工应穿着棉质的袜子. 不得在防静电鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料,保持鞋底的清洁. 坐式操作的员工应保证工鞋接触地面,不得把脚抬离地面放置. 需要进入EPA工作的临时或外来人员也应穿着防静电工鞋并经过测试记录,如果外来人 员没有配备工鞋,进入EPA时需要佩戴防静电鞋跟带,把鞋跟带的导电带子放入袜子内保持 和皮肤的接触,使人体接地良好并通过测试记录. 鞋跟带的防静电性能参数要求与工鞋相同.6 6 5 74.4工衣工帽由于防静电腕带只能泄放掉皮肤表面的的静电,却不能消除具有高绝缘性能的服装所带的静电,因此,为有效防止人体静电的危害, ESSD操作者不能穿一般的化纤,羊毛等 服装,而必须穿用ESD防护材料制成的防静电工作服和工帽. 防静电工作服是指为防止静电荷积累,用防静电织物作为面料而制成的工作服.常见 样式有连体式,分体式,大褂式等.华为公司使用的工衣有两种式样,卡克套装(包括工帽) 和大褂式样. 防静电工作服(工帽)的防静电性能指标如下: 表面电阻(点与点,片与片,袖与袖之间):1×10 ≤Rs≤1×10 Ω; 摩擦电压:&100V或在2秒内下降到100V以下;5 11洗涤时间:≥33小时(或洗涤次数大于70次); 防静电性能检测条件:温度20~30℃,相对湿度25±5%. 防静电工作服的使用要求: A. 在EPA区域必须穿着防静电工衣.工衣的穿戴方法:保证工衣的纽扣都已扣好,拉连 要拉倒工衣的四分之三或以上的位置处; B. 凡在工作中需接触ESSD的操作者,均需戴防静电帽.防静电帽的材料选用和使用要 求与&防静电衣&相同; C. 防静电工作服上不得使用金属附件,如果必须,金属附件不得直接外露; D. 防静电工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行,采用中性洗涤剂,避免使其受到较 强的机械和化学操作的洗涤; E. 防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测(认证测试);穿用一定时期后(半 年),应对防静电性能进行复测. 防静电工衣的检测方法按照 《防静电检测方法》DKBA3151.4 执行.4.5手套和指套凡在工作中需直接接触ESSD的操作者,均需使用防静电手套或指套. 防静电手套应采用防静电织物面料或棉质面料,指套应采用防静电橡胶,其防静电性能要求与工衣相同. 手套较脏时应及时清洗干净,通常情况下手套使用期限为一周,在污损较少的场合最 长使用期限不超过半个月,逾期一律以旧换新. 防静电手套指套是防止人体接触ESSD时造成ESSD的损伤,并防止操作中产生静电,防 静电腕带主要给人体静电提供安全的释放通道,因此同时使用腕带和手套并不矛盾. 一些站立式并有较大移动性质的操作,如机柜装配操作,一般要求员工戴手套(可以 不带腕带),但员工必须着装工衣工鞋,人手不能直接接触单板上的器件.但是机柜或产品 测试时必须佩戴腕带. 如果存在坐式操作,必须佩戴腕带.4.6工作椅为全面控制人体静电,操作者所坐的工作椅必须具有防静电性能.不得使用普通人造革面,化纤面料或塑料面的椅子,不能用木制椅代替防静电椅. 防静电工作椅的椅面,靠背,扶手应采用静电耗散的塑料材料或防静电的皮革制作, 工作椅的椅腿应采用金属材料或防静电材料, 当工作椅有可旋转移动的脚轮时, 脚轮必须是 防静电材料.如果椅腿是非金属材料或有绝缘套脚时,应将防静电椅面接地. 工作椅的防静电性能参见第6.6条的要求. 工作中应保证工作椅的干净,特别是椅腿的清洁并保证椅腿直接与地面接触良好.5包装及其标识要求这一节规定ESD敏感器件和单板的包装要求.ESD敏感器件的包装应该提供一种安全的保护方式, 以防止由于包装或外界原因对器件引起ESD损伤. 包装上的ESD标识也是非常重 要的,它能够提醒员工,包装内是ESD敏感器件,取出时应该采取ESD防护措施. 下述包装要求对供应商来料包装,厂内转运物料包装及发货物料包装均适用.5.1包装材料要求所有ESSD及其组件的包装都必须采用通过华为认证或同意接受的防静电包装材料. 在进行ESSD包装操作时,操作人员有权利和义务拒绝使用无防静电标志或明显不具备防静电性能的包装材料进行静电敏感器件及组件的包装; 在进行ESSD来料的包装检验时, 检 验人员有权利和义务拒绝接收无防静电标志或明显不具备防静电性能的包装材料的来料. 和供应商,合作伙伴,外协厂签定的合同和协议应该包含ESD控制要求.供应商,合作 伙伴, 外协厂应该使用华为认证过的或华为同意接受的包装材料和周转工具. 如果对方能够 提供可靠的数据证明使用的包装材料,周转工具是防静电材料(例如:第三方的测试数据) 或通过华为的检验证实符合防静电要求,可以使用对方提供的包装材料. 静电敏感器件和单板的周转包装材料应是防静电材料,主要的周转包装有防静电屏蔽 袋,防静电袋,吸塑盒,防静电器件盒,防静电泡沫,防静电箱,防静电周转车. 用于ESD敏感单板和器件的包装及其填充材料必须是防静电材料,主要的包装材料有防 静电屏蔽袋,防静电袋,吸塑盒,防静电泡沫以及内部有防静电涂层的纸箱(有些纸箱没有 防静电涂层).单板包装的主要方式有: A. 防静电屏蔽袋+粉红色气珠袋 B. 吸塑盒+防静电填充材料(防静电气泡带,防静电泡沫(可选))+纸箱 屏蔽袋和吸塑盒内部不能有静电产生材料.吸塑盒的外包装的纸箱内部原则上应有一层防静电涂料,如果纸箱内部的防静电包装已经提供有足够的防护能力(如屏蔽包装)并且 在全年最低的相对湿度下纸箱不会在EPA区域造成ESD危险, 则内部无防静电涂层的纸箱可以 接受. 防静电包装材料类别和技术要求参见第6.10节和 《防静电包装材料技术规范》DKBA3151.3.5.2包装ESD敏感器件所有ESD敏感器件,装有ESD敏感器件的单板和模块应该由法拉第笼的形式包装,来提供完全的ESD防护.包装ESD敏感器件应满足下列要求: 1) 为了外部和内部运输,ESD敏感器件的包装材料(指公司生产和发货用包材)应该 从华为经过认证的ESD材料编码中选取. 对于有防静电要求的物料, 供应商来料的包装材 料只要满足防静电标准要求并被华为认可就可以了,具体采用何种材料,何种结构的包 装形式一般不作强制要求(特殊要求除外). 2) 当ESD敏感器件, 单板没有在EPA区域里时, 应该用法拉第笼包装方式进行屏蔽处理, 完成加工的部件放入包装袋后应该通过封口加以保护. 3) 包装ESD敏感器件或单板如用防静电屏蔽袋, 首先应该选用合适的屏蔽袋规格大小, 屏蔽袋有一层与屏蔽袋大小一样的防静电气珠袋.原则是:屏蔽袋在宽度满足单板的要 求下,长度要比单板长至少10cm.把单板放入屏蔽袋后,把屏蔽袋的富裕部分折叠并叠 放在防静电箱里或纸箱中.也可以把防静电屏蔽袋封口.封口的方法有:热缩,内部的 拉练,纽扣,盖子,不会充电的胶带(防静电胶带),但是破坏包装完整性的操作是禁 止的,比如象把包装钉在一起. 4) 用吸塑盒包装单板或敏感器件时, 外包装如用纸箱, 它的内层原则上应有一层防静 电涂层.纸箱和吸塑盒内不能有非防静电材料. 5) ESD敏感器件或单板包装后应采用静电耗散材料(如防静电泡沫)进行填充. 6) 包装应避免单板和器件相互摩擦或滑动的现象.能够产生静电的东西(例如:包装 清单,测试信息,标识,塑料带或者其他橡皮带)不能与ESD敏感器件放在一起.静电耗 散包装材料应该在它的有效期内使用. 7) 导电材料(例如:屏蔽袋)可以通过抽样来判断是否可循环使用.判断的原则是: 在置信度为90%的情况下,抽样缺陷率小于1%的包装材料是可以被重复使用的.8) 应该每一季度对导电材料抽样调查一次,来确定其ESD防护特性是否满足.调查记 录必须被记录,并保存. 9) 内包装材料包含的腐蚀成分应该低于百万分之五,不应该有脱落和其他污染物. 10) ESD敏感器件和前加工单板可以用导电材料使ESD敏感器件和前加工单板的管脚和 端子短路,但管脚和端子短路保护不能代替防静电包装.导电材料在温度为30℃,湿度 为95%的环境里应保证能使用一年, 不应造成管脚和端口腐蚀. 导电材料的组成成分中至 少包含了百万分之五的硫磺,氯化物,磷化物以及其他活性离子,以保证导电材料不会 与接触或储存的金属相互作用. 11) 警惕由于导电包装造成的电池短路放电. 12) 使用胺做原料的防静电材料是不允许的, 胺或胺基化物的包装材料也是不允许重复 使用的.防静电材料应选择&华为通过认证的ESD材料编码&. 13) 对ESD敏感器件的包装发生以下几种情况,华为公司有权拒绝接收: A. 防静电屏蔽袋或包装上没有ESD警告标识. B. 散装ESD敏感器件. C. 在包装中有静电源或包装材料不满足防静电标准要求. D. 高静电敏感器件的包装没有形成法拉第笼.5.3对非ESD敏感器件/组件的包装根据EPA内所有电子元器件都应按照静电敏感器件来对待的原则,EPA内部的非静电敏感的电子元器件也应采用防静电包装方式,至少采用静电耗散材料包装. 对非ESD敏感的器件,部件,单板,模块应该用华为通过认证的ESD材料清单中的静电 耗散材料,如防静电胶袋,此时包装袋外的填充材料可以不要求防静电.对于非静电敏感物 料,供应商来料包装一般不作强制要求,进入华为后,如果需要进入EPA区域,应按照华为 防静电要求操作,采用防静电的中转或者包装材料;由于产品和生产控制的需要,部分非静 电敏感物料可以要求供应商采用防静电包装处理, 并建议非静电敏感的来料逐步要求供应商 采用静电耗散材料包装,便于整个流程的静电控制. 如果接收部门判定在全年最低的相对湿度下纸箱不会在EPA区域造成ESD危险,那么纸 箱可以用来包装非防静电器件,部件,单板,模块. 华为的导电材料,静电耗散材料都可以用来包装非防静电器件和部件,只要包装没有标明在里面有ESD敏感器件. 华为耗散包装的重复使用是允许的.它的判断依据是在置信度为90%的情况下,抽样的 缺陷率小于1%的耗散包装材料是可以被重复使用的. 一些容易静电产生的辅助材料不得进入EPA,严禁和静电敏感器件靠近和混合包装,该 类材料的包装也不在此规范的要求之内.5.4包装操作方法ESSD的包装必须在EPA内进行. 进行包装操作之前应检查是否已采取必要的防静电措施,如穿防静电工作服,防静电鞋,戴防静电腕带或防静电手套,指套等. 操作人员有权利和义务检查并拒绝使用无防静电标志或明显不具备防静电性能的包装 材料进行静电敏感器件及组件的包装. 不得随意拆除和改变ESSD的封装,运送全过程应在防静电容器中进行,清点也尽可能 在原包装内完成. 生产人员有权拒收未包装在防静电容器内的ESSD及组件. 对ESSD进行包装时应采用正确的包装方法.在两个包装容器之间传递IC类静电敏感器 件时,宜直接将防静电容器对接进行,例如将管装IC直接伸入防静电屏蔽袋中再将IC倒出, 两个IC管对接传递等, 应避免用手接触静电敏感器件, 戴有防静电手套或指套时也应尽量减 少直接触摸静电敏感器件的次数. 5.4.1 IC管式包装操作方法: ① 开启挡销或管塞; ② 用防静电工具将IC送入管口; ③ 将管子末端略向下倾斜,使IC轻轻滑入管内; ④ 插上挡销或管塞. 注意: A. 严禁直接用手接触IC,特别是其引脚.用手接触IC须戴防静电手套或指套. B. 严禁急速倒转或晃动IC管,以免IC在管内发生猛烈碰撞. C. 5.4.2 多个IC管需要捆扎时应采用橡皮筋或防静电胶带,严禁采用普通透明粘胶带捆扎. 托盘包装操作方法: ① 一般情况下使用原防静电托盘,将器件整齐平稳地放置在托盘的器件格中;② 将托盘层叠扣紧,最上层应用托盘扣着,用橡皮筋把托盘扎紧,防止器件滑出; ③ 托盘外应用防静电屏蔽袋或防潮袋包装,有潮敏要求的必须用防潮袋抽真空密封包 装. 注意: A. 防静电托盘通常有特定的形状和尺寸规格,物料排列应整齐有序. B. 禁止使用普通透明粘胶带捆扎防静电托盘. 5.4.3 防静电屏蔽袋和吸塑盒包装操作方法: ① 检查防静电屏蔽袋内外层及隔震外套 (防静电气泡袋) 完好无损, 吸塑盒无破损; ② 将静电敏感器件或组件放入指定规格的屏蔽袋(吸塑盒)中; ③ 将屏蔽袋口多余的部分折叠,吸塑盒需将其啮合处扣紧以保证包装的封闭性,如要 转运,须使用防静电胶带或防静电标签将屏蔽袋口,吸塑盒口封上. 注意: A. 防静电屏蔽袋若无严重破损,应回收供循环使用.回收时应内外袋完整并叠放整 齐,以每20个绑成一扎,送到指定的回收区域,由专人负责回收. B. 防静电袋屏蔽层若出现较严重破损,如穿孔,破裂,复合层分离等,则应停止循 环使用,直接作报废处理. C. 每个防静电屏蔽袋原则上只能装一块单板组件,特殊情况下需同时装多块小板时 必须用内袋层或其它防静电材料相互隔开,不得直接接触混放. D. 严禁使用普通透明粘胶带或拉伸膜捆扎屏蔽袋和吸塑盒. 5.4.4 部件与整机包装 ESD敏感的组件,部件,模块应采用防静电屏蔽包装,并使用静电耗散的填充材料. 插框和整机带板运输时,必须使用防静电袋对其进行整体包装. 当整机和子架采用了法拉第笼的包装方式,外部的填充材料可以不要求防静电. 5.4.5 用户来料加工的包装 对用户加工(OEM)的包装材料应遵照对方来料的原包装形式或特定要求.5.5标签及标识ESSD的包装上必须有防静电的警示标识以提醒操作者注意,防静电警示标识要求按照 《防静电标识规范》DKBA3151.2执行.1) 所有ESD敏感器件的包装材料应该用ESD敏感标识或ESD防护标识贴在最里面的屏蔽 袋的外面.这个标识的贴放位置是为了最里面的屏蔽袋被打开时能够看见. 2) 外包装上应有防静电警示符号标识, 并可在符号旁边加注必要的说明文字, 标识应 出现在容易看见且不易受到磨损的位置上, 3) 包装非ESD敏感器件的包装不应有ESD敏感标识和ESD防护标识. 4) 任何标有ESD敏感标识或ESD防护标识的包装在被打开时,应该在EPA区域里进行. 在实际操作中唯一的例外是确认里面的器件是非防静电器件. 5) &闪电&,&警告&和&危险&等标识和文字不能用于ESD控制目的. 6) 防静电警示标识应体现在防静电包装材料上.它应该是防静电 7) 包装的一个永久性的特征,应该和制造商的名称,制造日期和编码在一起. 8) 应该有流程和规范来通报未按标识要求标识的供应商改进. 9) 对供应商提出的规范和合同中应该包括华为ESD控制要求.外部供应商使用的防静 电包装标识只有满足华为ESD控制的要求才能被接受. 如果在运输过程标识被破坏, 接收 部门应该加上华为确定的标识.接受非华为认证的标识必须经过部门ESD控制负责人同 意.6存储,周转,运输静电敏感器件及其组件在存储,周转,运输过程中都必须采用防静电包装,即采用法拉第笼的包装形式,避免器件受到静电损伤.在存储,周转,运输过程中都不得对ESSD 进行拆包等直接操作,只能在EPA内的防静电工作环境中进行对ESSD的直接操作.6.1存储⑴ 静电敏感器件存储环境一般要求: 温度:20~30℃ 相对湿度(RH):30%~75% 当存储区域(库房)的自然温湿度达不到要求时,应使用空调或增湿器,抽湿机予以调节,直至满足要求为止. 注意:对环境有特殊要求的,如潮湿敏感器件等,请遵照相应的专用操作指导书执行. 静电敏感器件和组件的存储环境中中不得有强静电,强电场,磁场或辐射场存在. ⑵ 存储器具:存储静电敏感器件及其组件必须采用防静电的包装材料或器具,并保证存储的封闭性. 可用于直接存储静电敏感器件及组件的器具有:防静电屏蔽袋,IC管,防静电托盘, 卷盘卷带,吸塑盒,防静电周转箱,单板周转车等. ⑶ 存储操作要求: 静电敏感器件及其组件不得直接放置于货架或不具有防静电功能的周转箱内或周转车 上,应通过防静电屏蔽袋或防静电周转箱等储放. 静电敏感的单板,组件的存放主要采用屏蔽袋,吸塑盒,防静电周转箱,单板周转车 等. 周转箱和周转车一般用于生产现场的短时间存放, 当使用防静电周转车和周转箱较长时 间存放单板(如存放于库房)时,应采用防静电屏蔽袋罩住周转车,采用屏蔽袋或周转箱盖 板盖住周转箱箱口,以保证其防静电效果并防灰尘. 静电敏感器件可以采用IC管,防静电托盘,防静电的卷盘卷带,防静电屏蔽袋等存放. 存放时要保证包装的封闭性, 因此使用防静电托盘存放IC类物料时外部应采用防静电屏蔽袋 (或防潮袋)包装.防静电器件盒一般只用于生产现场的器件短期放置,不用于库房的器件 存储. 静电敏感器件尽量保持原包装状态,严禁随意拆封. 用于静电敏感器件散装清点,分料和发料的工作台必须铺设防静电台垫,并可靠接地. 操作人员应佩带防静电手套,指套或将有绳防静电腕带接入防静电接地系统. 静电敏感物料的存储包装材料要求按照第6.10节和第8节的要求执行.6.2周转在EPA内部,EPA之间常用的周转工具有:周转箱,周转车,防静电器件盒,防