原标题：未曾忘却的记忆：回旋茬酒仙桥地区的集成电路梦

来源：内容来自芯思想作者朱贻玮，谢谢

编者按：全文共30000余字，请大家慢慢阅读酒仙桥是中国电子工业嘚摇篮，先后研制、开发出5000余种产品填补了国内技术的空白，新中国第一只真空管第一台计算机，我国第一颗原子弹和第一颗人造卫煋的许多关键元件均诞生于此

人生七十古来稀，如今八十不稀奇回想起在北京东郊酒仙桥地区工作35年、生活了55年的人生，一年一年看著以前的领导、同事、同学们一个个地离我们而去想想自己今年刚过八十足岁不久，但不知余日还有几何一旦两脚一伸什么都烟消云散，不如当脑子还有记忆的时候把往事写出来留给后人看看，也许还有些用处特别要学习我清华同班同学秦鹏顽强拼搏的精神，当他身患重病时还不停地写出自己一生的经历他的榜样鼓励着我写下去。

以此文纪念四机部已故的集成电路行业的领导和干部：权玉臣、李典举、李德广、李会昌、陈文华、戚正荣；纪念已故的单位领导和同事：王正华、梁振中、孙义芳、龚凯

一、北京电子管厂起步研制固體电路

二、筹建第一家集成电路专业化工厂

三、878厂、774厂、器件二厂发展阶段

四、筹建燕东联合公司阶段

五、燕东公司成长扩大阶段

六、燕東新厂建设发展阶段

一、北京电子管厂起步研制固体电路

1963年7月我从清华大学无线电系半导体专业毕业，8月就到被分配的北京电子管厂报到即四机部直属的774厂。北京电子管厂是在我国第一个五年计划期间由苏联援助我国建设的156项工程之一她在1956年10月15日举行开工典礼，是上世紀60年代亚洲最大的电子管厂电子管是第一代电子器件。

工厂在北京东郊的酒仙桥工业区因为在工厂厂区和宿舍区之间有一座桥叫酒仙橋而得名。

图一、北京电子管厂（774厂）厂区楼房

图三、酒仙桥旁酒仙雕像

1958年大跃进年代在清华大学上学期间，学校安排学生下工厂见习勞动我就曾经到北京电子管厂化学车间阴极喷涂工序劳动过。早在1957年厂里就筹建半导体实验室进入60年代，厂里开始生产半导体晶体管这是第二代电子器件。我进厂后分配到搞半导体的十车间锗高频晶体管工段劳动半年后，1964年初调到位于工厂后区的十车间试制组工作和同事们一起筹建硅平面型晶体管（简称硅平面管）试制线，安排我搞氧化和硼扩散工艺那时候买不到半导体专用设备，所用设备都偠由负责该工艺的大学生画图到厂里机械加工车间加工。我负责氧化扩散炉其他人负责光刻机、蒸发台、外延炉，以至大照相机机械加工完后，由电气工人老师傅来装配调试最后交给我们试用，并在机械和电气老师傅们帮助下改进之那个年代我们就是在这样的条件下开始研制硅平面管的。我记得还出差去唐山到陶瓷厂去选购耐高温的氧化铝管，回来后和工人们一起绕康钛丝做扩散炉管填上耐高温材料做成扩散炉，再和工人们一起倒班拉恒温区然后才开始做氧化和硼扩散工艺试验。

1965年初工厂编制调整，十车间改为十分厂迋正华（1952年清华大学电机系毕业）担任技术副厂长；试制组改为试验室，称为三室朱恩均（1957年北京大学半导体物理专业第一届毕业）担任技术副主任。室里又分为锗高频大功率管大组、锗台式管大组和硅平面管大组我所在的硅平面管大组试制硅高频大功率管，而位于工廠前区的三车间搞硅高频小功率管当时我们试制的硅平面管型号为4S1和4S11，4S1为3～5W, 4S11为10～15W1965年5月，我和应用组沈诚送试制出的4S11型硅平面型高频大功率管样管去宝鸡769厂给15W“小八一”电台试用同时送去做试验管子的还有石家庄第13研究所。

图四、774厂三室所在楼外景

去宝鸡出差后刚回到室里试验室技术副主任朱恩均找我谈话，要我跟着他开始研发固体电路也就是现在说的集成电路。这是美国德州仪器公司和仙童公司汾别在1958年刚研究发明的第三代电子器件这是在清华毕业前，由美国回来的黄敞先生来清华大学给我们作专题讲座时才提到的新名词划時代的新产品。当时对固体电路在我脑子里几乎是一片空白但是我接受了这一任务。从此开始与半导体集成电路（英文简写为IC当时称為固体电路）相伴一生。开始时就在硅平面管大组里试制但不久就单独组成固体电路大组，安排我担任大组长固体电路大组包括硼扩散、磷扩散、光刻、蒸发和后部封装，而照相制版、磨片抛光和外延则是公共的同时为平面管大组和固体电路大组服务。试验室里原来沒有晶体管封装后部工艺只有在管子底座上烧结芯片和压焊，然后到工厂前区车间封帽后完成封装而固体电路则是采用扁平外壳，在底壳上粘结芯片后经压焊还要自己封盖板以完成封装

当初我们就靠阅读文献开始研究工作。我们设计的第一块固体电路是DTL（二极管晶体管逻辑）型与非门电路包含平面型晶体二极管、晶体三极管和电阻，这是电子计算机布尔代数里最基本的电路由它可以组成各种逻辑電路。工艺是反外延、SiO2介质隔离当时所采用的硅片为小方片，先是10×10平方毫米后来是15×15平方毫米。所采用的扁平外壳是金属玻璃型的由我们出零件图，总厂工具科开模具零件车间冲制零件：引线框架、边框、底板和盖板，然后玻璃分厂烧结成底壳我们流出的硅片劃成小芯片粘在底壳里，经过压焊金丝后最后封上盖板制成成品我们第一个用户是位于北京韦子坑的15所，即华北计算技术研究所在试淛过程中得到他们大力支持，他们还派了技术人员来在我们研制过程中协助我们对试制出的样品进行测试和分析。

那时候我国有多家单位进行固体电路研发北京研究单位有中国科学院半导体研究所、中国科学院计算技术研究所156工程处和北京市无线电器件研究所（简称沙河研究所），石家庄则有13所（即河北半导体研究所）有一次，林巍厂长带我专门去156工程处参观当时多家单位分别研制出固体电路样品。到1965年年底13所召开新产品设计定型会，在国内第一家鉴定了固体电路产品：采用介质隔离的DTL型数字逻辑电路我也去参加了会议。由于13所和我们774厂采用相同的工艺并且都与15所有合作关系，因此15所研制的第三代电子计算机样机就由这两家单位供应电路我厂提供数量大的與非门电路，13所提供技术难度大的与非驱动器电路1967年15所研制的采用固体电路的电子计算机样机在当时举办的内部技术成果展览会上展出，样机唱出了《东方红》乐曲这是我国自主研发的第一批第三代电子计算机之一。当时15所参加研制第一台样机的主要成员有王应铨、张先金和于绍镛等人

那个年代处于四清运动转到文化大革命起始阶段，大字报从大学里漫延到工厂里后来又发展到两派武斗。当时国家提出的口号是“抓革命 促生产”固体电路大组也不是处在真空里，我允许工人们可以去厂区里看大字报但当芯片流到你所在工序时，僦要求回来操作大伙都还支持工作，保证了研制和生产任务的完成流片始终没有间断。

当时研制固体电路的工厂还有上海元件五厂怹们采用国际上通用的PN结隔离，研制TTL（晶体管晶体管逻辑）型电路与华东计算所合作，在1966年底召开产品鉴定会我也在铁路交通因文化夶革命而受到严重影响情况下，非常不容易地赶到上海科学会堂参加了会议

当时国内各研究所和南北两家工厂基本上都是各自独立研究嘚，工厂并没有从研究所接产一说研究所则有少量从国外回来的专家或教授为骨干，像中科院半导体所有从美国回来的林兰英先生（搞半导体材料）和王守武先生（搞半导体物理和器件）156工程处有从美国回来的黄敞先生，而工厂里则没有这样的条件完全靠国内大学自巳培养出来的年轻大学生和工人们一起自力更生干出来的。在我们北京电子管厂试验室固体电路大组里开始时有清华大学和成都电讯工程学院毕业生参加，后来又有西安交通大学、西北电讯工程学院和浙江大学毕业生参加并增加了副组长陈光宜，她是西安交大毕业的笁人们则由三部分人组成：从前面电子管车间调来的女工，中专毕业生（后来转为技术人员）还有由解散的总厂警卫队分来的男工。大镓都是在实践中学习在摸索中前进。各大组技术上总的都由试验室副主任朱恩均负责他是我们技术上的领头人。

我们这条试验线曾經接待过北京大学半导体物理专业在校学习的大学生来线见习活动，当时是由武国英和张丽春两位老师带队也接待过一批沈阳半导体所技术人员和工人长达数月的实习活动。

记得在1967年严寒冬天某一天四机部打来电话，通知我当天晚上到前门饭店开会我赶到那儿，是刚從朝鲜出国回来的电子器件处处长权玉臣召开会议会上主要讨论为了加速发展固体电路，提出要建专业化工厂因为当时在研制固体电蕗的部直属厂北京电子管厂是以生产第一代电子器件电子管为主的，同时也在发展第二代电子器件晶体管再要发展第三代电子器件固体電路力度大不了。记得当年部里负责半导体的成员有肖思伟（后调去外经贸部）、陈文华（1962年成都电讯工程学院毕业分配到部机关工作）、李典举（1957年北京无线电工业学校毕业曾任北京电子管厂十车间试制组组长），后来又从北京电子管厂调去李会昌（1962年西安交大毕业）囷李进（1958年北京无线电工业学校毕业）从这次会后，部里就规划起要建一批固体电路专业化工厂那个年代正是国家搞三线建设年代，蔀里规划在大后方三线地区新建三座固体电路工厂并取名代号为877厂、878厂和879厂。过去四机部直属厂代号大部分是7字头当这一消息传到我們774厂固体电路大组以后，组里一批从总厂警卫队调来的工人们觉得到山沟里新建工厂太慢应该在北京找一地方新建快得多。于是在当时攵化大革命年代政治气氛下他们自发地成群结队跑到万寿路27号四机部机关大院去，找到军管会领导下、唯一一位没有被打倒、还在主持笁作的副部长齐一丁向他申述了就在北京新建固体电路专业化工厂的理由。齐部长之后召集会议听取了管半导体工作的干部们的意见後，决定将三个厂之一的878厂就建在北京以求快速建成尽早拿出产品供应军工急需。这就是878厂没建在三线的原因于是1968年2月8日四机部决定茬北京筹建878厂，即国营东光电工厂而另两厂则仍然建在三线，877厂开始建在陕西商县后来迁到西安；879厂原在四川青川建厂，后来转到成嘟建厂取名为红光电工厂。

部里决定由774厂为主抽调人员筹建878厂任命邝少凡为筹备组负责人。为了加强建设878厂的领导班子部里调了政笁部门宣传处处长陈先觉和财务司财务处处长梁振中到878厂筹备组工作。当时筹备组成立后就在北京开始招工大部分是初中毕业生，也有尛部分高中毕业生包括外语学校英文班德文班几个毕业生。负责劳资人事干部来774厂联系了安排这批招来的年轻工人到我们固体电路大组試制线上实习每一工序都安排了人员。这样774厂固体电路试制线为878厂培养了第一批年轻工人，他们后来成为878厂工人的骨干力量

总之，從1965年5月份开始北京电子管厂就开始独立地、自力更生地研究固体电路,在十分厂试验室里所研制出来的一批固体电路与石家庄13所研制的固體电路共同供给北京15所研制成功我国第一批第三代电子计算机样机。之后又投入小批生产

附固体电路大组技术人员名单：

组长：朱贻玮（清华1963年）

副组长：陈光宜（西安交大1962年）

硼扩散：许同玉（清华1964年）、谭家升（清华1966年）、方胜（西电1966年）

磷扩散：刘湘伦（成电1964年）

咣刻组：陈光宜（兼）、许同玉（后来参加）

蒸发组：王玉芳（成电1965年）

低温氧化：郑英杰（浙大1967年）

后部组：汪永生（清华1965年）

测试组；张全（成电1964年）

后又有西电1967年毕业的李梅格、王鸿军参加。

图五、三室固体电路大组部分成员

前排：左朱贻玮右许同玉，后排：中陈咣宜

二、筹建第一家集成电路专业化工厂

878厂筹备组成立后对厂址初步选在位于西郊清华大学东边的768厂（大华仪器厂）厂区附近，该厂也昰部直属厂主要生产微波仪器。很快就在现在六道口六所的位置厂房大楼和宿舍楼都打好地基开始往上垒墙了。这时发生了一件突然倳情当时处在文化大革命时期，在一次内部军事科技成果展览会上展出一项技术革新成果将一台小型电台发射距离加大了不少。当林彪参观后问了这位革新者是谁回答说是一位解放军战士。又问这位战士的文化程度如何回答说是初中毕业。据说当时林彪说了一句看來初中文化程度就可以了那年代文化大革命革命对象之一是资产阶级教授们统治下的高等院校，当时大学里都已停课闹革命当这一情況传到四机部教育局那里，教育局长紧跟林彪一声令下，把四机部在全国各地十几所中等专科学校全都改成工厂如成都无线电校改为970廠，无锡无线电机械学校（当时改名为抗大）改为742厂由市区棉花巷搬到运河旁、锡惠公园附近，后来发展成为华晶公司而位于北京酒仙桥地区、在北京电子管厂旁边的北京无线电工业学校（简称北无校）则由部里决定作为新建的878厂的场所，这是1968年10月24日由四机部下达通知後执行的这样一来，在西郊六道口刚开始建的厂房和宿舍都停下来了筹备组迁到了北无校里。之后筹备组领导班子和北无校领导班子匼起来这样，878厂从此出现成员庞大的领导班子在这样情况下，组织上从774厂三室中陆续抽调一些技术人员到878厂筹备组有原来负责锗台式管组的陆耀庭、搞外延的李树栋和简尧恒，在我们固体电路组中有我和搞硼扩散的方胜当时筹备组分为政工组、生产组、基建组和后勤组。从774厂调来的技术人员、北无校及其实验工厂的老师和新招来的年轻工人都在生产组里我在1968年12月到878厂筹备组报到，开始工作后认识嘚第一位北无校实验工厂半导体车间老师就是李显荣他是北无校1960年半导体专业毕业。我俩第一件工作就是清点半导体车间所有的仪器设備以备使用。

北无校主要有两栋建筑一是教学楼，一是实验楼都是4层楼，各有5000平米878厂就利用这两座楼作为车间来搞生产。原来地媔都是水泥地为了生产集成电路要求干净，因此首要任务是砸掉水泥地改铺水磨石地。当时组织在周围几个工厂实习回来的大部分年輕工人们参加劳动来完成这项任务与此同时，让我组织在774厂固体电路线上实习过的年轻工人利用北无校实验工厂半导体车间一部分可以鼡上的设备开始试制固体电路样品有的工序不具备条件，该工序年轻工人就拿着片子到774厂师傅那儿流片经过大家日夜努力，在774厂协助丅878厂在不长的时间里搞出了第一块固体电路样品，也是SiO2介质隔离的DTL型与非门电路

在厂房改造期间，一方面组织采购国内生产的半导体專用设备一方面作技术准备。厂领导让我组织一个精干的队伍去上海元件五厂参观学习TTL（晶体管晶体管逻辑）型电路工艺和设计学习怹们采用的PN结隔离工艺技术。回厂后组织三结合小组设计与非门电路版图于1969年在部分改造好的厂房里试制出878厂第一批TTL型与非门电路。当時所加工的硅片为不规则的小圆片直径为30多毫米。

到1970年10月厂房改造及设备调试工作全部完成，开始全面投产四季度厂里组织大干，決心拿下20万只固体电路芯片当时厂领导和我吃在厂里，睡在厂里和车间工人、技术人员一起干。1971年厂里组织上陶瓷外壳为全年完成50萬块固体电路成品打下基础。由三车间承担生产陶瓷外壳的任务从外厂买来陶瓷底片和环片，自行制作玻璃侧环加上机加车间自制模具冲出的引线框架，烧结成陶瓷底壳

全厂各车间安排情况如下：原教学楼二层三层是一车间，搞数字电路研制TTL型数字电路，一层则是搞磨片抛光和外延属六车间，并搞制版；原实验楼二层是二车间研制线性电路（现在称模拟电路）。后来又把一车间一分为二：二层┅车间生产TTL中速电路三层为九车间，开始研制抗饱和型肖特基TTL（即S-TTL）高速电路又在原实验楼一层成立八车间，研制生产固体电路测试儀器

在厂区其他部位有三车间，搞材料和外壳包括自己生产四氯化硅和硅烷。生产硅烷很危险它一遇见空气就要燃烧，乃至爆炸囿一次所产生的气体快要从塑料管里跑出来。这时候操作的年轻工人欧新黔硬是用嘴把管子里气体吹回去这才避免了一场事故。为此她被选为学习毛主席著作的积极分子全厂动力部门为五车间，机械加工为四车间负责开模子、冲零件和自制一部分设备。七车间则是后來组建的MOS电路车间为其专门新建了小净化厂房，其光刻间头一次采用了垂直层流结构开始把洁净技术引入半导体集成电路生产上来。後来又单独成立封装车间为十车间，位于原实验楼三层当时878厂采用IDM模式，即集成器件制造模式“麻雀虽小，五脏俱全”自行设计電路、制版、加工芯片，直至封装测试最后打印包装，连特种材料和外壳都由自己生产

1972年春节前后，四机部在北京东四旅馆召开集成電路座谈会会上提到由于当时国内生产的集成电路质量不好，影响到电子计算机整机调不出来我参加会议后回厂组织质量调查，从厂內到厂外大家共同总结出造成集成电路质量差的原因是四个字：“脏、虚、伤、漏”，即肮脏、虚焊、划伤和漏气然后针对所存在的問题一个一个分别采取相应的改进措施。之前我在1971年参加秋季广交会时与日本富士通公司及德国西门子公司进行技术交流座谈中得知，熱压焊压点抗拉力应不小于2克这时就要求车间组织热压工人经过练兵全部达到2克以上拉力，以防止虚焊又学习上海兄弟厂的镜检（显微镜检查）办法，提高芯片表面质量还组织有关人员试验改变内涂料以提高封装质量。同时和技术人员一起对构成电路的元器件（电阻、二极管、三极管）进行不同设计的试验，摸索各元器件性能对门电路高低温性能的影响从而进行电路设计的改进。然后组织生产了┅批改进后的中速电路提供给近邻738厂试制出DJS153型电子计算机经广交会和出国展览，证明质量提高后的集成电路可调出小型电子计算机当時位于北京昌平、号称“200号”的北京大学电子仪器厂正在研制大型电子计算机，采用的集成电路就是878厂生产的TTL中速电路和S-TTL高速电路在研淛S-TTL高速电路时，技术员方胜曾去北京大学请教物理系从英国回来的黄昆教授起初也由于集成电路可靠性不高，整机调试工作遇到困难為此，878厂由厂党委书记曹良亲自带领我们学习队伍下江南去上海向同行工厂参观学习。曹书记原是北无校党委书记抗战期间就参加八蕗军，在对敌作战中负伤一只眼睛失明。我们从上海回到北京后决定“退倒从来”重新生产一批质量改进后的中速和高速电路供给北京大学电子仪器厂，从而使北京大学电子仪器厂在1972年研制成功我国第一台100万次大型电子计算机这些事实才扭转了“集成电路不如晶体管，晶体管不如电子管”那种“一代不如一代”的局面

建厂初期，处于文化大革命早期工厂组织机构还是革命委员会形式，领导人是革委会主任下设政工组、生产组、行政组、基建组和后勤组，后来生产组改为生产技术组之后才恢复工厂建制，厂领导人为厂长第一任厂长是邝少凡，而梁振中任副厂长下设各个科室，生产技术组改为生产技术科随着工厂业务的扩大，后来到1973年5月又把生产技术科一汾为二分成生产科和技术科。任命蒋正华为技术科长任命我为副科长，蒋正华原来负责基建组在厂房改建完成后调到生产技术组，後又改为生产技术科自技术科成立之后几年里，一直由他和我领导全厂技术管理工作

1976年7月27日878厂在厂里召开产品设计定型会，邀请全国各地用户前来参加鉴定双极型中速和高速数字电路，以及线性电路原计划开两天会,但不幸28日清晨发生唐山大地震，第二天会议停开

1978姩5月，蒋正华提任副厂长我接任技术科长。一年半后到1979年11月又提我和孙义芳担任副总工程师，他原是北无校老师我负责工艺和设计，他负责测试和设备

这样，经过10年建设878厂集成电路试制和生产工作进入全面发展阶段，国内第一家集成电路专业化工厂建成陆续为國内军工和各工业部门提供愈来愈多的各类集成电路。

图六、2英寸线、3英寸线国内第一家单位：北京东光电工厂（878厂）

那时候上海仪表局已将上海元件五厂五车间搬迁到漕河泾建成了上海无线电十九厂（简称上无十九厂），也是集成电路专业化工厂专注生产双极型数字電路。在计划经济年代上海上无十九厂和北京878厂被业界称为“南北两霸”。那个年代国家实行计划经济每年春天和秋天召开全国电子え器件订货会议，878厂生产的集成电路是最紧俏的产品之一订货桌前总是排成长龙，产品供不应求盛况持续10多年。

878厂人员组成在建厂初期首先是四机部明确由774厂三室抽调的一部分技术人员，来到北无校后加上该校的老师和工人以及筹备组招来的年轻工人。此外还有┅部分公安部实验工厂转来的员工，以及当时由国家分配来的1967至1969年毕业的大学生因此，878厂早期主要技术人员为历年毕业的清华大学、北京大学、成都电讯工程学院、西北电讯工程学院、南开大学和北京无线电工业学校、南京无线电工业学校的毕业生他们分布在各个车间囷技术科，其中以清华大学毕业生人数最多有20余人，曾在878厂大门口合影留念参见图七。

图七、878厂的清华大学毕业生

自左至右：1朱贻玮2刘洪昆，3梁昌锐9陆耀庭，10郑敏政14余庆长

好几个车间的技术骨干都是清华毕业的，如一车间技术副主任余庆长是1967年毕业六车间主任劉洪昆是1965年毕业（北无校老师），七车间副主任仲进才是1967年毕业九车间技术副主任郑敏政是1969年毕业，十车间技术副主任梁昌锐是1961年毕业（北无校老师）一车间主任则由北京大学1968年毕业的杨学明担任。为了加强878厂的力量部里于1974年又从774厂抽调108名技术人员和工人到878厂工作,领頭人是白学光，他是北无校1958年毕业生我刚到774厂参加工作时，他在十车间高频晶体管工段任工段长调来人员中有南京工学院、浙江大学、成都电讯工程学院等校毕业的技术人员，以及一批1958年就参加工作的老工人就是依靠建厂初期就来的一批技术人员，加上这一次增加的技术人员支撑着878厂从建厂到兴旺时期开发新工艺、研制新产品和提高产品质量工作，使878厂成为20世纪70年代我国重要的集成电路生产企业為各工业部所属厂所和中国科学院有关研究所各类电子整机配套集成电路作出了不可磨灭的历史性贡献。

以前电路设计和工艺都由各车间內部技术人员承担为了加强开发新产品力量、加速双极型中规模集成电路的设计进程，后来决定在技术科里成立设计组从一车间抽调┅位有经验的老技术员担任组长，并设法调来一位清华大学半导体专业毕业的研究生来设计组工作安排一批恢复高考后第一届大学毕业苼到设计组。设计组培养出好几位有相当水平的电路设计人才其中有两位离开878厂后，经过在国内和海外工作磨练逐渐成长为集成电路设計公司和设计服务公司的领导人：屈祥生和谷建余

878厂还为我国集成电路标准化制订工作作出了贡献。四机部四所为我国电子行业标准化研究所负责制订各种电子元器件和电子整机的标准。当年878厂为集成电路标准化委员会数字电路分会主任委员单位所制订的标准还获得㈣机部和国家标准总局的嘉奖。1982年由沈阳47所郑崇伟带队我和四所蔡仁明三人一起参加了在英国伦敦举行的国际电工委员会举办的半导体囷集成电路行业国际标准化会议。会后还参观了3家英国集成电路公司此外，878厂和上无十九厂等厂家还协助四机部财务司在制订集成电路價格上发挥过作用当年我和厂里财会科周子学曾参加四机部在南昌举行的电子产品订价会议。

878厂还为支持兄弟企业培训人才和接待大学茬校学生实习作出贡献记得李典举曾经由部里调到北京市工作，那时他建议北京市半导体器件三厂上CMOS电路当时878厂还在研制PMOS和NMOS电路阶段。他联系安排器件三厂技术人员和工人到878厂MOS电路车间进行实习878厂还不止一次地接待清华大学等大专院校学生来厂实习。清华大学半导体專业陈天鑫教授曾带领学生来878厂新工艺组一起开展表面钝化工艺试验对比几种钝化工艺的效果。

早在1973年9月在中日恢复邦交一周年之际，中国派出电子工业考察团访问日本由中国科学院半导体研究所王守武任团长，四机部李德广任副团长全团共计14人，其中研究单位7人生产系统7人。来自研究所的还有中科院半导体所马俊如、中科院上海冶金所刘振元、南京55所林金庭、石家庄13所金圣东（兼翻译）、临潼771所马庆魁和航天部九院杨礼和生产系统还有四机部李会昌、878厂陆耀庭和朱贻玮、700厂毕绍刚、甘肃设备厂安增琪和第十设计院韦荫辉。参見图八

图八、1973年赴日考察团

照片自右数起：2朱贻玮，5陆耀庭11李会昌，14王守武15李德广

考察团参观访问了日本8家集成电路制造企业：日竝、东芝、日本电气、松下、三菱、富士通、夏普和冲电气，以及半导体设备和测试仪器制造公司、材料生产公司、制版公司和洁净厂房設计单位当时日本已经采用3英寸硅圆片实行规模化大生产，后部封装已经采用单机自动化生产在日本考察期间，全体团员曾对要否从國外引进技术展开讨论部分团员认为：为了加快赶上国外先进水平有必要引进技术，另一部分则认为只要引进工艺设备技术可以自行開发。当时日本电气公司（NEC）表示可以转让3英寸线全线设备和技术并报出价格。有三种技术：双极型数字电路、双极型线性电路和MOS电路（当时还是PMOS和NMOS电路）一种技术和设备3000万美元，两种技术和设备4000万美元三种技术和设备5000万美元。回国之后全体团员向国防科委钱学森莋了汇报。由于当时还处在文化大革命期间四机部大院里有一位第十设计院干部贴出大字报，当时称为“蜗牛事件”批判部领导从国外引进是“洋奴哲学，爬行主义”加上那时候国家缺乏资金，部里为878厂引进项目准备的资金只有1500万美元因此丢失了从NEC公司全线引进设備和技术的机会。如果当年能引进NEC公司技术中国大陆发展集成电路的速度会加快不少，那时候台湾工研院电子所还没有从美国RCA公司引进鋁栅CMOS技术我们考察回来后写出考察报告，印刷后报有关单位并且在北京和江南地区作了几次大会汇报，向国内同行们介绍了日本发展集成电路的状况使当时还处于封闭状况下的国内同行对国外发展集成电路状况有了比较详细和深入的了解。

三、878厂、774厂、器件二厂发展階段

在四机部建立878厂之后在878厂发展同时，774厂并没有放弃集成电路而且北京市也在酒仙桥地区西八间房把北京市电机学校改为北京市半導体器件二厂（简称器件二厂），在生产晶体管之外也发展集成电路。这样在上世纪70～80年代酒仙桥地区形成了三家生产集成电路企业嘚局面。这一时期三家企业都有比较大的发展形成你追我赶的形势，也就是比较兴旺发达的时期

在一车间生产双极型数字电路、二车間生产双极型线性电路之后，当国内研究单位（大学和研究所）开始研究MOS（金属氧化物半导体）电路之时878厂新建了小净化厂房也开始研淛MOS电路，开始搞的是PMOS和NMOS电路这个小净化厂房是由四机部第十设计院设计的，它是中国半导体企业头一个试用空气净化技术来建造半导体車间光刻间采用垂直层流。以前所用的硅片开始时为小方片后来都改为不规则的小圆片，直径为30几毫米四机部组织国内半导体专用設备制造单位为878厂小净化车间配套2英寸（50毫米）试制线工艺设备，这是国内第一次尝试组织全国设备厂为半导体厂全线配套制造集成电路笁艺设备位于774厂后面的700厂就研制了用于2英寸硅片的程控双管扩散炉供给小净化车间试用。878厂在国内首家采用2英寸线研制出三片式NMOS四位微處理器大规模集成电路（简称四位机电路）当时电路的线路由部里组织浙江温州、安徽合肥和湖南邵阳三家整机单位出人共同参与设计，版图则由878厂七车间技术人员设计

1978年之后，经过全厂组织技术攻关中速TTL电路和高速S-TTL电路由部标提升到靠美国得克萨斯公司74和74S系列标准。经过电路改进设计工艺采用薄外延、浅结新工艺，将中速电路和高速电路首先各有一个品种达到设计定型然后生产出一批参数全部達到得克萨斯标准的中、小规模集成电路提供给改进后的DJS130型电子计算机。而且TTL车间在技术科产品设计组参与下，大力开发中规模集成电蕗以满足整机用户新的需求。因此878厂两次获得部里科技成果奖：1981年2月获得部级优秀科技成果奖1982年12月获得部级科技成果奖一等奖。之后叒研制了低功耗肖特基电路即LS-TTL型电路，也形成系列并投入生产。

与此同时在使用扁平型陶瓷外壳之后，878厂开始研究生产双列直插式（DIP）封装有塑料封装，使用环氧树脂和硅酮两种材料；还有陶瓷封装有黑陶瓷低熔点玻璃式和白陶瓷金属式两种。陶瓷封装为气密性葑装使用核质谱检漏仪进行检漏，以满足军用电子整机使用要求

在开发新产品同时，厂里根据军工使用单位的要求通过各种试验，采取各种措施拓宽TTL电路使用工作温度范围，生产了Ⅱ类电路工作温度范围为：－40～＋85°C，ⅠA类电路工作温度范围为：－55～＋85°C，乃臸Ⅰ类电路工作温度范围达到－55～＋125°C。而一般民用电路的工作温度范围是－10～＋70°C为Ⅲ类电路。当年为满足武汉710厂和宝鸡769厂坦克电囼野外工作的要求起初提供Ⅱ类中速电路，后来提供ⅠA类电路之后，为满足七机部航天和军用整机的要求又专门生产“七专”电路，当时电路质量考核执行美国883军用标准之后又提高为38510标准。为了向客户提供集成电路可靠性数据我们还提供了试验电路，在中国科学院原子能研究所做长期高温带电老化试验试验结果表明878厂生产的集成电路可靠性达到10的负7次方的水平，这在当年同行中首屈一指

为贯徹国务院成都会议精神，军工厂要贯彻“军民结合”的方针为此，自1979年8月开始线性电路车间上电视机和录音机电路。当时电视机电路汸日本三洋公司黑白电视机所采用的日本NEC公司upc系列3块电路我记得试制出样品后送上海无线电四厂试用。当时绍兴871厂分厂和韩国三星公司吔送去样品三家样品中各有1块电路满足要求，三家样品凑在一起才能配套当时都对电视机电路没有了解透，因而没能形成产量而录喑机电路则选了当时风靡一时的砖头式录音机所用4100系列电路，878厂投产后供用户大量使用

在小净化车间投入使用之后，四机部又决定在878厂興建大净化厂房厂房仍由四机部第十设计院设计，但是水电气仍由774厂动力部门提供未建独立的气站。这是我国第一个用于半导体集成電路生产的洁净厂房于1980年2月建成验收，参见图九

图九、878厂大净化厂房

1978年6月，四机部决定878厂以拼盘形式从日本和美国引进3英寸工艺设备形成一条完整的集成电路芯片生产线。当时厂里主要由陆耀庭负责对外谈判购买设备他是清华大学半导体专业1962年毕业。四机部半导体處和之后于1980年成立的中国电子器件工业总公司（简称器件总公司）半导体处对878厂从国外引进3英寸芯片生产线长期进行指导和帮助特别是器件总公司副总工程师李会昌自始至终付出了极大的努力。当时部里为加强集成电路领域工作人事组织部门要从878厂抽调一名年轻技术干蔀到部里工作，点名两人分别是一车间和九车间技术副主任。蒋正华和我商量结果送九车间技术副主任郑敏政去部里他之后长期在部裏从事集成电路管理工作。

在小净化车间投入使用大净化厂房建设期间,四机部为加快878厂上MOS电路，专门安排位于四川永川的24所于1981年派了一批搞MOS电路的技术人员在所领导带领下来到878厂协助小净化车间和大净化厂房工作当年部里还希望878厂能接24所或位于沈阳的47所各自研究开发的、仿美国莫托洛拉6800系列微处理器电路。为此我与一位技术员先去沈阳47所调研。到了所里后刚从47所调至沈阳市担任市委书记不久的李铁映闻讯回到所里来，挂起电话打到部里与何华生副部长通话说878厂朱贻玮来47所了，希望部里安排878厂接47所的6800系列产品何部长就在电话里对峩说，你们就接47所产品吧！这样我俩回厂汇报后就接了47所产品，也没再去永川24所调研了接47所6800系列电路后来安排在大净化厂房内流片，洏存储器EPROM品种则安排在小净化车间流片

为加强878厂的领导力量，四机部之前曾经考虑调沈阳47所副所长兼总工程师李铁映来担任878厂厂长兼总笁程师后因沈阳市提拔李铁映担任市委书记而作罢。后来当大净化厂房在第一任厂长邝少凡及其后蒋正华副厂长主抓厂房建设和引进笁艺设备基本就绪后，四机部才从石家庄13所把时任副所长兼副总工程师的俞忠钰调来878厂担任总工程师职务以加强878厂技术领导力量。俞忠鈺是774厂朱恩均北大的同学正式调来前曾托朱恩均打电话给我，表示愿来878厂工作征求我们意见。我与蒋正华副厂长商量后都表示欢迎1982姩初部里调俞忠来878厂，当时厂长是郭殿奎第一任厂长邝少凡已于1980年调去部里筹建中国电子器件工业总公司了。俞忠钰来厂之后开始一段時间住在厂里、吃在厂里整日主抓大净化厂房内3英寸工艺线通线工作。在他具体领导下在大净化车间领导干部和全体技术人员及工人們齐心努力下，我国第一条3英寸工艺线正式通线在3英寸线上流通了双极型线性电路工艺和MOS型数字电路工艺，其中包括由香港兴华公司转來的铝栅CMOS五功能电子手表电路他来厂以后主推上CMOS电路，不仅安排技术科产品设计组成员设计CMOS电路还要求技术科和TTL车间技术人员也设计CMOS電路，当时主要是小规模数字电路这样一来，878厂产品系列包括了双极型数字电路和线性电路CMOS型数字电路，以及NMOS型大规模集成电路在夶净化车间流了七车间研发的NMOS四位微处理器电路和从沈阳47所移转来的6800系列八位微处理器电路。由于国内第一条3英寸线流通和一批电路品种投入生产878厂在1983年获得电子部科技进步一等奖四项、二等奖一项，在1984年获得电子部科技进步二等奖三项在1985年获得国家科技进步三等奖一項、电子部科技进步二等奖五项。

在俞忠钰来后不久厂长又换为从774厂调来的陆凎生担任。但没过多久赵紫阳当政时期，要求厂长年轻囮到了55岁就要换班。在此历史条件下上级领导机关又于1984年6月任命俞忠钰接替陆凎生担任厂长。他上任之后提七车间搞NMOS大规模集成电路設计的副主任仲进才担任总工程师让我担任副厂长，主抓产品应用加强经销业务在此之后，我组织技术科、新品科、应用组和标准化組编制了三大厚本产品说明书：双极型数字电路、双极型线性电路和MOS型数字电路这三大本说明书标志着878厂兴旺时期产品的最高成果。

厂應用组把四位机电路推广应用到机床技术改造和数字化电子秤制造上1984年9月我代表878厂参加了国家经委在南京召开的全国机电一体化技术改慥现场会议。时任国家经委副主任的朱熔基主持会议并听取了各单位经验介绍发言。我代表878厂在大会上作了汇报发言并领取了大会颁發的奖状，奖状上写道：“积极采用微电子技术更新改造机床取得成绩特此表彰”。878厂还在会上展示了应用开发项目的实物和图片时任电子工业部（1982年5月成立电子工业部）副部长的李瑞也到场参观。参见图十、图十一和图十二

图十、878厂在全国机电一体化技术改造现场會议上发言

右2发言者朱贻玮，右3朱熔基

图十一、878厂在大会上领取奖状

图十二、电子部李瑞副部长参观展出实物和照片

右1讲解者朱贻玮右2李瑞

作为国内第一家2英寸线和3英寸线的878厂鼎盛时期一直持续至上世纪80年代中期。

1986年6月电子部调俞忠钰到中国电子器件工业总公司，接替偠退休的权玉臣担任总经理并兼总工程师。之后878厂厂长隔不了几年就换一个到最后一任虽然年轻，工作也很努力但已无力挽回局面，一直走下坡路直至退出集成电路行业。

为什么国家重点培养扶植的第一个半导体集成电路专业化工厂、曾被业者誉为“北霸天”的878厂後来会衰落下去一步一步退出历史舞台？这一问题始终没有人深入探讨分析原因在此时此处我想发表我个人的5点见解，供大家思索参栲

首先，虽然878厂是我国2英寸线和3英寸线第一家但在大净化车间3英寸线通线投产后没能达到规模经济的产量。采用多品种小规模CMOS电路作為主要产品系列没能构成大量生产的条件后来曾想接产沙河研究所的5块彩色电视机电路，虽有市场需求但因产品本身未过关，没能接產成功

其次，878厂虽为部里重点发展单位但后来缺乏稳定的强有力的厂长领导。建厂初期较长时间担任厂长的邝少凡在四机部设立中国電子器件工业总公司时被调去参加组建工作之后各任厂长干不了几年就换厂长，这样只顾短期经营缺乏长期规划。记得建厂初期附菦的海军701厂曾想把厂房和厂地卖给878厂，把他们厂搬到公主坟海军司令部附近去但是当时878厂领导缺乏长期考虑而没买。不像无锡742厂从棉花巷开始搬至大王基之后，一直发展到后来组成华晶公司长期由王洪金担任厂长和总经理，对企业经营长期实行强有力的领导后来又茬四机部及之后电子部持续大力支持下，使企业有更大的发展

第三，计划经济时代国营工厂产生利润全部上缴国家，工厂需要技术改慥时要立项申请批准后才能获到资金予以实施据878厂财务科长说，计划经济年代878厂上缴利润曾达当初总投资额的8倍但在改革开放后，上級单位中国电子器件工业总公司把大量资金投到深圳去了而且，当四机部下决心上电视机时广播电视处选择配套的集成电路生产点时，选中了位于无锡大运河旁、风景优美的锡山公园附近的742厂从此部资金支持重点转向无锡742厂。之后878厂很难再取得部里资金支持

第四，集成电路芯片业不进则退878厂在投产3英寸线后，器件总公司曾从美国仙童公司引进一条4英寸二手设备线三分之二给了甘肃871厂，三分之一給了878厂但是当初878厂领导没有及时抓住搞技术改造，后来北京市领导决定组建北京燕东微电子联合公司时878厂把4英寸设备投到燕东公司去叻。这对878厂而言失去了继续前进的机会。

第五集成电路企业要长盛不衰，就要不断开发新工艺、研制新产品878厂在技术科内曾设有新笁艺组，也曾成立新品科但是没有持之以恒。在由双极型电路往MOS型电路发展过程中曾欲接产沈阳47所6800系列产品和EPROM产品，但从47所转来的6800系列各产品除6850这一接口电路外，都没有全面达到性能参数指标而不能定型投产；EPROM在小净化车间投片多批，参数都达不到指标在财会科周子学提议下停止再投片。工厂没能得到国内研究所的有效支持也是因素之一

到后期，878厂双极型线性电路和MOS型数字电路都缺乏市场竞争仂大规模集成电路也没有冲上去，主要还是靠原来的双极型TTL军品数字电路维持好多年最后，在国内外激烈的市场竞争中878厂逐渐衰退下詓乃至退出集成电路行列。

作为国内集成电路第一个专业化工厂虽然退出了历史舞台但是她为电子工业部和国家计委输送了好几位干蔀，后来成为管理国家集成电路行业的领导干部在电子部里郑敏政担任了微电子司副司长；后来也去部里工作的刘洪昆担任了科技司司長；俞忠钰从器件总公司转到部里后任微电子器件局局长，后又升至总工程师；周子学也早已调到部里机关改制到信息产业部时担任了經济体制改革与经济运行司司长，后来又担任了之后成立的工业和信息化部财务司司长、总经济师；当年入厂的年轻工人欧新黔（后来为笁农兵大学生）经过国家经贸委后转到国家计委担任了副主任俞忠钰后来又担任了中国半导体行业协会理事长，周子学在2015年3月出任中芯國际公司董事长然后又兼任中国半导体行业协会理事长。他（她）们在各自的领导岗位上为我国集成电路行业的发展发挥了不小的作用周子学则还在现今岗位上继续发挥作用。尽管从878厂调出这么多位到国家领导机关工作后来都还承担了相当重要的领导职务，但是却对咾厂878厂走向衰退恰无能为力这不能不说是历史可悲之处。

四机部在北京建设第一个集成电路专业化工厂878厂之后774厂并没有因此放弃集成電路这一新生的产品门类。再加上在文化大革命军管会期间在全国大办电子工业到处建集成电路工厂的形势下，总厂在前区楼房里成立叻集成电路车间把原来试验室固体电路大组留下的技术人员调过去，继续研制和生产双极型数字电路；同时把原来生产锗高频管的车间妀为研制和生产双极型线性电路车间；还成立了研制微波砷化镓器件和微波集成电路的车间研制的产品为军工服务。那段时间内厂里┅共三个单位热热闹闹地搞了好几年，但是由于资金不足形成不了规模生产，产品缺乏市场竞争力三个车间都陆续下马了。之后又成竝一个新品试验室主要做微波晶体管和微波集成电路，同样由于形成不了规模生产维持时间也不长。后来又在后厂区建了一个821厂房吔称为小净化车间，从事硅晶体管的生产但规模不大。

上世纪70年代末国家为了加强国防，打算从以色列引进坦克电台当时称为“三七”工程。由四机部组织对外谈判原来在清华大学与我同班同学秦鹏1964年毕业后也分到774厂工作，但没几年调出厂经过几个单位工作后，於1979年由六所调入四机部四局半导体处,当时处长是李会昌秦鹏正赶上参加对外谈判。为坦克电台要配套大规模集成电路可供选择的配套笁厂有北京774厂和878厂、无锡742厂，以及成都970厂当初大国防工办为此还作了调查，他们来878厂调研时我接待了他们秦鹏考虑到放在北京比较方便，又由于他对母厂774厂的情感从一开始便推荐了774厂作为承担单位，并让他们的技术人员参加技术谈判这样，600多万美元的大型集成电路引进生产线项目在处、局获得通过后落实到774厂后来又加了一个几百万美元的彩色电视配套电路项目，两项合计774厂获得了1000多万美元的发展基金这是部里为了给这个老厂一次技术改造机会，为了帮助老企业增加活力为此，774厂把原来玻璃分厂的车间改造成为半导体净化车间称作811厂房。1980年后也从国外引进了一条拼盘3英寸线工艺设备目标是为“三七”工程配套9块专用大规模集成电路，为MOS和CMOS工艺当时配套的厚膜电路则安排在大山子798厂内。为了加快研制9块专用大规模集成电路在引进生产线尚未开工时，先到878厂小净化车间生产线上试制并出叻样品。到1986年移植到774厂引进生产线上投片很快完成了样品的研制。但是后来由于“三七”工程总体整机计划发生变化，没有执行下去774厂工艺设备引进后并没有再生产配套的专用大规模集成电路。在此情况下厂里曾经设计了6片式黑白电视机电路，试制出了样品但是吔没有形成规模生产。由于没有找到合适的可生产的集成电路产品加上引进生产线运转费用很高，不能维持生产线的运转在此情况下，总厂只好决定把811厂房改回来生产晶体管曾经与香港4D公司合作，要生产npn和pnp晶体管做了工艺试验，但没有等产品投入批量生产由于亏損付不出厂内动力费用，动力部门最后停止供应水电气工艺线从此停止运转。那时候王东升刚接任厂长总厂也处于多年亏损之中，没囿财力支撑811净化厂房的运行这样，部里对774厂这次技术改造项目的重大投资打水漂从此，774厂退出集成电路行列

之后北京电子管厂在连續亏损7年后，年轻厂长王东生带领员工自筹650万元种子基金进行股份制改造创办北京东方电子集团股份有限公司，后改名为京东方科技集團股份有限公司（简称京东方）企业经过优化组合，转向发展液晶显示屏（液晶面板）方向经过20多年努力奋斗，成长为一家极具竞争仂的全球显示产业领先企业企业转型成功了，但这是后话了

北京市半导体器件二厂所在地原来是北京市电机学校，是属于北京市的一所中等专科学校位于京密路旁万红西街上,离774厂不远。在文化大革命中全国大上电子工业期间1968年下半年北京市把电机学校也改为半导体笁厂。北京市把位于沙河的北京市无线电器件研究所（简称沙河研究所）的两条半导体工艺线搬到器件二厂来以投入生产。1969年1月6日从沙河所调来一大批技术人员与电机学校老师们共同建设器件二厂。一条线做平面型晶体管另一条线上集成电路。除两条线上技术人员之外调来的还包括硅单晶片磨片和外延工艺、四氯化硅制备工艺、测试仪器研制技术人员。硅平面型晶体管先投产产量很大，向全国供貨北京市仪表局还在器件二厂开过现场会。集成电路工艺开始用介质隔离后来也改为PN结隔离。开始时研制DTL型电路后来也很快过渡到TTL型电路。从小规模单与非门电路做起后来主要配合清华大学计算机系为其配套NOVA机用一整套数字集成电路，共15个品种除了小规模集成电蕗外，还有几个中规模集成电路如4D触发器、计数器和校正电路等。当时由部里组织全国同行和用户召开鉴定会整机定型取名为DJS-130型电子計算机，由清华大学转到北京市计算机三厂批量生产作为小型通用电子计算机向全国供货。器件二厂生产的集成电路可靠性达到一定水岼除向北京市计算机三厂供货外，也向国内其它计算机厂家供应配套电路当时把这些编入各大学计算机专业教材，对我国计算机应用嘚普及起到历史性作用该计算机获得全国第一届科技大会奖，器件二厂配套集成电路获得二等奖除了为小型计算机配套外，也为二机蔀、七机部、六机部和五机部的科研和生产单位供应集成电路因为当时凡上程控或数字控制的系统都离不开数字电路。为军工单位配套嘚集成电路还采用美军883检验标准进行考核

中国在1978年底开始改革开放之后，美国英特尔公司微处理器从原来1974年的4位4040、8位8080快速往前发展1982年嶊出16位80286，1985年推出32位803861989年又推出新的32位80486。到1993年更推出新一代的奔腾型本该叫80586，因为当时规定不能用数字申请专利而选名“奔腾”这样一來，DJS-130型小型计算机就逐渐退出历史舞台为之配套的集成电路就失去主要大用户，器件二厂所能生产的中小规模数字电路产量很快下跌其它用户的需求量不足以维持工厂正常运行。到了上世纪80年代中期企业就面临困境

为了求得进一步发展，早在1981年就开始筹划建设净化厂房李优仁从1982年开始接手负责建厂房工作，并于1983年3月组织电子部第十设计院各专业工程师（包括半导体工艺、厂房结构、土建、给排水、超纯水、电力供给、氮氧氢超纯气体、系统及空调等专业）去美国硅谷考察参观半导体生产厂房回来后设计了建筑面积达5000平米的净化厂房，这相当于美国上世纪80年代中小半导体厂房水平在美国考察时，韩国三星公司也在美国谈引进相关设备那时候和三星公司同时起步。当年比上海贝岭公司动手还早他们要盖厂房时曾来此参观过。这一厂房不仅受到北京市重视电子部也很关心，李优仁记得当年曾接待过部里李会昌陪同江泽民部长来看过。但由于后续资金跟不上缺乏资金，盖了厂房壳子就停步不前了

四、筹建燕东联合公司阶段

1982姩5月4日国家决定成立电子工业部。在1985年期间国家进行体制改革工作，电子部将170个直属电子工厂下放给各省、直辖市只留下为电视机配套的无锡742厂和咸阳4400厂，前者生产电视机集成电路后者生产显像管。北京774厂、878厂和另外10个代号厂都下放到北京市为此，北京市为领导管悝这12个厂设立了北京市电子工业办公室部里派陈文华到北京市电子办担任副主任。当时北京市原来市属电子企业分属北京市计算机工业總公司和北京市广播电视工业总公司领导在此背景下，国家成立了国家电子振兴领导小组并设了办公室，以振兴我国电子信息工业丠京地区也在1985年年底成立了北京电子振兴领导小组，由陈希同任组长韩伯平和陆禹澄（时任市委常委，后任副市长）任副组长国家科委、教委、电子部、邮电部和中国科学院都有一位领导担任副组长，并设立了办公室以振兴北京地区电子信息工业。国务院任命陆首群擔任北京电子振兴领导小组办公室主任在北京地区抽调一批工程技术干部到办公室分管计算机行业、通信行业、集成电路行业和功率器件行业，先后从沙河研究所调蒋翔六与我到办公室一起分管北京地区集成电路行业工作北京电子振兴办公室成员见图十三。

图十三、北京电子振兴办成员

第一排左3朱贻玮左5陆首群，左7蒋翔六第二排左7华平澜

电子部关于集成电路“七五”行业规划（1986～1990年），是要在上海囷北京重点发展集成电路我到任后首先对北京地区集成电路行业的发展现状作了调查。在调查的基础上提出了加速发展北京集成电路行業的大、中、小三种方案供市领导选择决策。大方案是投资4亿元人民币建设一条全新的5英寸（125mm）2～3微米大规模集成电路芯片生产线年產6000万块集成电路，由774厂和878厂共同出人于1986年3月编写了初步方案当时希望在国家出资2亿元的情况下，电子部和北京市各出1亿元但是，我们茬向国家电子振兴领导小组办公室汇报该项目的初步方案后由于国家电子振兴领导小组办公室没能从国家计委得到2亿元专项基金，此计劃就宣告落空中方案是北京市自行筹资2亿元，产能规模小些也因无资金来源而作罢。在此情况下,就只能采用小方案：利用878厂已经引进嘚4英寸仙童线一部分二手设备以及北京市半导体器件二厂在建、而未建完的5000平方米净化厂房，两厂联合组建新的公司建设4英寸芯片生產线。在市领导决定后878厂和器件二厂两厂也表示同意，随后由两厂派出首批人员开始筹建当时市电子办副主任陈文华和我在器件二厂召集两厂筹建人员开会讨论为联合公司取名，在征集的十多个候选名称中选了“燕东”作为联合公司的名字取名为“北京燕东微电子联匼公司”， 因为“燕”字表示位于北京附近的燕山山脉古代又为燕国所在地，“东”表示在东部“燕东”则表示在北京东郊。报到北京市领导后表示同意此名这样，在1987年6月正式成立了北京燕东微电子联合公司,两厂派出的筹建人员就在器件二厂厂区内办公筹建4英寸线市里领导考虑后，决定调878厂党委书记杨富德担任燕东公司总经理并由器件二厂副厂长李优仁担任党组织书记兼副总经理，他从1982年起就开始负责筹建5000平方米净化厂房工作

国家“七五”集成电路行业发展规划建设南北两个微电子基地，北方微电子基地就在北京并进一步明確南方在上海要建贝岭公司，北方在北京要建燕东公司各建一条4英寸芯片生产线。上海贝岭公司为中外合资公司总投资5000万美元，总经悝是原上无十四厂厂长张惠泉 因此，张惠泉和杨富德经常联系后来他俩成为挚友。贝岭是在上海漕河泾地区的新建项目新建净化厂房、引进全新工艺设备；燕东则是在北京器件二厂院内的技术改造项目，由国家经委批准立项但总投资规模仅为5000万元人民币。

杨富德到任之后要我也去燕东，我义不容辞地同意了就在1987年9月底离开878厂到燕东公司报到上班了。他要我担任副总经理负责筹集资金因为我与電子部和北京市的人员熟悉，同时还要我兼任总工程师我回答说：只能担任其中一职，因两者工作性质截然不同一要往外跑资金，另┅则在内管技术他认为找到资金才能建燕东，就让我担任前职并让我推荐总工程师候选人。我先推荐774厂的许同玉他是清华4字班的，仳我晚一届1964年毕业。但当时774厂领导不放他后推荐878厂的刘湘伦，是成电1964年毕业他随后报到任职。因为他俩是我早年在774厂三室任固体电蕗大组长时分管硼、磷扩散工艺的同事来自器件二厂的李优仁担任党组织书记兼副总经理，龚凯担任副总工程师燕东公司领导班子到齊后，首要任务是寻找资金当时杨富德和我先去我俩都工作过的老厂774厂找时任厂长求助。但得到的回答是：774厂有821、811两厂房878厂有小净化、大净化两厂房，都没搞上去老杨、老朱你们才几十个人，能把集成电路搞上去在这样情况下怎么办呢？鉴于1985年电子部把在北京的12个矗属代号厂都下放到北京市这样，我们就先去找北京市领导时任副市长兼北京电子振兴领导小组副组长陆宇澄亲自关心燕东公司的建設，给我们指点寻找资金来源并多次在市里召开专题会议讨论燕东4英寸线项目，甚至召集市里各部门到器件二厂院内召开现场会议

事囿凑巧。当时首都钢铁公司董事长周冠五要大力拓展企业经营范围在其所属电子公司总经理毛普庆的建议下，要上大型电子计算机、大型电子程控交换机和大规模集成电路这正是北京电子振兴办要推动的行业。为此电子振兴办派人协助首钢走访了北京市有关企业。首鋼向北京市提出了一批较好的电子整机和器件企业名单想要划归首钢。最后北京市委和市政府下文划归首钢的只是集成电路行业4个单位：878厂、器件二厂、沙河研究所和筹建中的燕东公司。之前首钢曾承诺要出资金为燕东建4英寸芯片线、为878厂扩大IC封装能力、为沙河所提供研发资金但当北京市领导下了文件把上述4个单位划给首钢之后，首钢董事长周冠五在召开4单位全体领导干部会议上宣布仅是每个月拿絀少量钱给4单位员工发工资而已，根本没有打算投入建设和研发资金进首钢后反而抽调了4单位里的技术骨干参加与日本NEC公司谈判引进5英団芯片线和封装线项目。因为NEC公司之前曾参与无锡742厂MOS电路项目谈判但最后无锡与日本东芝公司和德国西门子公司谈成引进4英寸和5英寸芯爿线项目。经国家领导机关介绍让日本NEC公司到北京来谈MOS电路项目，并让首钢出面谈判4单位抽去参与谈判的技术干部们出于对国家和北京市的整体利益出发，帮助首钢与NEC公司在1990年初谈成了合资合同我也参与了，担任产品与市场小组组长谈判中间，双方本来同意在北京東部电子工业区内器件二厂院子里建5英寸芯片线但后来首钢总经理赵长白来器件二厂院子看了以后，首钢领导决定把建线地址改到西边艏钢附近由于要在有污染的钢铁厂附近盖洁净度要求很高的半导体厂房，为此多花了一笔资金用于加强处理空气和水质合同执行结果昰建成了首钢日电公司6英寸芯片厂，它成为我国第一条6英寸线由于首钢的食言，不兑现原先的出资承诺在4单位员工和燕东公司领导班孓要求下，北京市领导在一年之后又下文件将上述4单位退出首钢回到原系统。当时首钢通过市里点名要从上述4单位抽调17名技术干部去首鋼但绝大多数人不再愿意再去首钢，包括我在内再困难也宁愿留在原单位。这样一进一出首钢贻误了燕东两年时间，出首钢后燕东叒面临重新寻找资金的局面

出首钢后，时任器件二厂厂长的余庆长接任燕东公司总经理我继续负责找资金。在市领导的授意下我先後分别去找了市计委、市经委、市财政局及其投资公司、市工商银行，还有其他投资公司北京市各单位普遍认为:既然燕东项目是电子部囷北京市共建项目，电子部应该先出钱北京市才跟进投资。于是我去电子部找有关部门这时候已开始“八五”规划之初，部里明确全國仅重点支持5个集成电路重点企业：无锡华晶、绍兴华越、上海贝岭、上海飞利浦和北京首钢日电前俩为部属国有企业（华晶是当年未丅放的742厂改组发展而成，华越则是下放甘肃的871厂在绍兴设点又成其分厂改名后收回部里）后仨为新建的合资企业，两个在上海一个在丠京。燕东排在第6位但在重点之外。与我熟悉的部里负责投资的财务司领导对我半开玩笑地说：改革开放了你怎么不去深圳“发财”，还要在北京建集成电路厂我挚意要留在北京建燕东4英寸线。最后部里财务司领导看在我的决心和挚意上，同意出资830万元人民币投给燕东为此要感谢电子部当时的财务司副司长林良友和财务处处长戚正荣，有了他们的支持才有后来燕东的建成和之后的发展。在此情況下北京市财政局及其所属投资公司和其他单位逐个承诺跟进投资燕东，并与市工商银行商谈申请贷款事项

在资金初步有所着落的情況下，市经委和市电子办组织燕东项目赴美考察团于1992年年底赴美考察。全团共9人由时任市电子办副总工程师华平澜带队，9人成员中包括市经委顾玉芳市电子办李克功，机电部周勤勇（1988年4月电子部与机械部合并成立机械电子部简称机电部），市工商银行王处长和燕東4人：余庆长、朱贻玮、李显荣、尚敏强。赴美考察回来后经过多种方案选择决定与美国BIT公司进行谈判，因为该公司有一条完整的4英寸芯片线流的工艺为双极型集成电路工艺，决定停线将整线设备出售考察时原北京电子振兴办公室的蒋翔六在美国洛杉矶学者交流访问，在我们赴美考察后他到BIT公司受聘为首席科学家,帮助BIT公司参与谈判双方经过多次谈判，最后于1993年年底签下合同将BIT公司一条完整的4英寸線设备卖给燕东公司。

但是资金又出现新问题。筹措资金中包括有银行贷款部分原先说好由市工商银行贷款，考察团中还有该行一位信贷处长参加而在落实过程中，由于负责电子口的信贷员不同意贷而办不成他的理由是当时电子工业整体效益都不好。为此向市领导彙报后改去市中国银行联系在市电子办主任陆首群（这时管下放12个厂的小电子办与计算机公司、广播电视公司以及仪器仪表公司合并成竝新的大电子办）、副总工程师华平澜和我多次去市中国银行汇报、联系后，终于取得他们贷款的承诺事情办成后我问负责放贷的范处長原因时，他说：他们考虑放贷对象不是看行业而是看要贷款的企业，更重要的是看企业负责项目的领导人的素质和作风

在执行合同過程中，我于1994年夏天带队共33人前往美国BIT公司进行技术培训。培训结束后BIT公司将全线100多台设备拆装运来北京，BIT公司安排主要设备制造厂商负责派人到燕东公司进行设备安装调试最后经过逐台验收合格后才交付燕东使用。此时已进入1995年

就是这样，燕东公司在第一任总经悝杨富德的领导下经历了进出首钢贻误工程两年，千辛万苦地用5年时间才建成净化厂房这是杨富德总结774厂和878厂搞半导体和集成电路没囿高标准、高质量水电气动力保障的经验教训而采取的重大措施，这就为今后大规模投产创造了良好条件我在一次接待台商前来参观后，他认为燕东公司净化厂房和动力设施已达到国际通用标准水平可以达到月产20000片集成电路硅圆片的程度。燕东公司厂房见图十四

之后，在第二任总经理余庆长的领导下燕东公司又用了5年时间从美国BIT公司引进一条完整的4英寸芯片线，全线设备安装调试开通后进行双极型模拟电路工艺试验。经过燕东公司全体员工脚踏实地的努力奋斗最终于1996年6月底由国家经贸委（1993年3月重建成立）委托北京市经委组织召開燕东公司技术改造项目的验收大会，验收会由市经委副主任张志明主持会上邀请了一批北京地区半导体专家和兄弟单位领导人参加，當时谢小明代表774厂参加了会议验收通过之后，当时电子工业部常务副部长刘剑锋（1993年3月恢复成立电子工业部）前来燕东公司现场视察進净化车间参观了工艺线，肯定了燕东项目建设成果部里同来的还有郑敏政、关白玉和周子学（也早已从878厂调去部里工作）；北京市经委张志明副主任和市电子办华平澜等人也来参加。参见图十五和图十六

图十五、刘剑锋部长等考察燕东。

第一排自左至右：1关白玉2郑敏政，4刘剑锋5张志明，6周子学7华平澜，8余庆长

第二排自左至右：1朱贻玮3龚凯

图十六、刘部长参观燕东

前排自左至右：1刘剑锋，2余庆長3朱贻玮

燕东公司在筹建时为联合公司，由878厂和器件二厂分别以部分4英寸二手设备和在建厂房作为初始投资其余所投资金来自电子部、北京市有关单位，贷款部分当初主要是向市中国银行贷款在整个筹建过程中资金非常困难。最困难时连不到100人的工资都发不出不止┅次地我到上级单位北京市电子工业办公室向主任请求电子办出钱垫付，才得以留住燕东员工继续艰苦奋斗引进4英寸工艺线后，在进行笁艺试验过程中企业没有营收，靠项目资金维持运行资金仍然非常困难。有时候没有能力支付电费屡屡接到市供电局停电通知，若洅不缴费面临遥控自动停电危险。为了不出现第二个774厂811厂房停产局面我不止一次地跑到位于前门地区北京市供电局，与其沟通并设法寻找资金支付电费才得以保持运转。

早期燕东不到100名员工主要来自878厂和器件二厂设备部人员主要来自878厂，动力部人员主要来自器件二廠公司领导和管理干部、工程技术人员和操作工人则来自两厂。后来又从774厂进了一些技术人员和工人到厂房建成、全线设备投入运行後，不断地从878厂和774厂聘用一些已经退休的、有经验的工程技术人员来增加技术力量

在4英寸芯片线验收前，余庆长和我商量鉴于燕东公司4英寸线建设因资金问题延续了10年才建成，当初差不多同时起步的上海贝岭公司早在1989年就建成投产而成为国内第一条4英寸线而现时连首鋼日电公司国内第一条6英寸线都已投产5年了，国内集成电路5大骨干企业：无锡华晶、绍兴华越、上海贝岭、上海飞利浦、北京首钢日电嘟已建成投产，我们再去与他们拼集成电路产品肯定难度很大。为了企业生存不如来一个“回马枪”，回过头来主攻半导体分立器件兼作集成电路。因为以燕东现有的净化厂房和4英寸线设备条件与国内分立器件兄弟厂条件相比的话可以排在前三名之内。但大部分中層干部开始时都不赞成最后在我俩做工作后都表示同意。这一种“退一步 进两步”的战略决策使得燕东公司之后能在国内外激烈的市场競争中不倒而不断前进具有长远的意义这是因为在集成电路大批量生产后在各类电子整机中广泛应用之后，并没有出现晶体管出来后基夲取代电子管的局面半导体分立器件（晶体二极管和三极管）仍然在整机中有应用价值，形成采用集成电路为主、分立器件为辅的局面

为此，我们从774厂聘了两位顾问一位就是许同玉，另一位是搞背面金属化的技术人员因为晶体管与集成电路不同的工艺主要就是背面金属化。774厂搞了20多年的晶体管却没有解决这一关键工艺。当年无锡742厂还从国外公司花重金引进这一单项工艺我请部里半导体处关白玉與他们联系后，带燕东工艺技术员和北京仪器厂技术人员一起去已改名为华晶公司学习但工艺因合同规定不能外流，只让测绘了用于3英団硅片的电子束蒸发台回来后由北仪厂试制用于4英寸硅片的电子束蒸发台。设备搞出来了可是连换了两次主管技术员，背金工艺依然沒有最终攻克有待解决。

1996年下半年北京市电子办领导贯彻中央关于企业领导班子年轻化的政策陆续调整所属企业的领导成员。到1996年年底市电子办干部人事处处长来燕东公司召开中层以上全体领导干部会议，宣布调774厂副总裁谢小明来担任燕东公司第三任总经理他是邓尛平恢复高考后成都电讯工程学院头一届毕业生，此时正值年轻力壮之际会上并宣布，聘我为公司顾问从此，燕东公司在新一届年轻囮领导班子的领导下解决芯片背面金属化难关，组织开发新产品首先把晶体管进入批量生产阶段，一步步“爬坡”逐步做到扭亏为盈，使燕东公司在国内外市场激烈竞争中生存下来并且不断地发展前进。

从燕东联合公司成立到引进4英寸芯片线项目验收成功，经历長达10年之久成立当初，是在北京电子振兴领导小组办公室陆首群主任领导下后来主管电子部下放北京市的12个企业的北京市电子工业办公室（称为小电办）和原来的北京市计算机工业总公司、北京市广播电视工业总公司，以及北京市仪器仪表工业总公司合并组成新的北京市电子工业办公室（称为大电办），由电子振兴办主任陆首群兼任新电子办主任两办合署办公，一套班子两块牌子之后在陆首群调赱后，由774厂厂长张仲文接任市电子办主任到燕东公司项目验收时，市电子办主任已由738厂厂长鲍玉桐接任上级领导机构及其负责人虽几經变动调整，但对燕东公司的支持始终如一坚持不断。这是燕东公司长期不倒而能取得成功的重要原因

五、燕东公司成长扩大阶段

燕東公司自1997年初开始,在谢小明担任总经理新的领导班子领导下，在已建成的净化厂房和引进的4英寸芯片生产线成套设备基础上在产品方向甴集成电路向分立器件为主这一战略转移方针引导下，开始前进过后不久，又从774厂调来淮永进担任燕东公司总工程师他是兰州大学本科毕业，又在西安交通大学上研究生获得硕士学位。分立器件相对集成电路而言从集成度讲是降低了，但对晶体管的参数要求更严格叻而且在分立器件中有一些独特的工艺，例如为降低粘结芯片时的接触电阻，需要有硅片背面金属化这道工艺燕东要做分立器件，褙面金属化就是一只“拦路虎”背面金属化有背金和背银两种工艺。首先燕东主管技术人员利用北京仪器厂研制的电子束蒸发台先攻丅了背银工艺。当时上分立器件后燕东承接对台来料加工。我在1997年2月退休后当顾问期间当年5月底，参加中国半导体行业协会组织的大陸代表团赴台参加“两岸半导体学术研究与产业发展研讨会”。会议之后我到燕东为其加工晶体管芯片的华昕公司参观，了解到他们對用作背金工艺的电阻式蒸发台所做的改装回来后燕东公司工艺工程师和设备维修人员在此启示下，共同努力改装了蒸发台又经过无數次试验，最终在主管技术人员李显荣反复试验后也攻克了背金工艺解决了背面金属化之后，燕东生产的分立器件顺利地得到用户的肯萣

到1999年9月，我结束燕东公司顾问工作离开1963年清华大学毕业后到774厂开始工作以来36年的酒仙桥地区,回到清华大学，参与台湾朋友组建的大茂国际公司团队协助清华大学微电子研究所上5英寸工艺试验线。

坚持以市场为导向大力开发新产品

以前计划经济年代，全国电子工业烸年春季和秋季各组织一次全国电子元器件订货会半导体工厂一般是先自行研究开发新产品，并逐步形成系列出了样品后给用户试用，经用户认可后才投入批量生产然后逐步推广。在改革开放市场经济大环境下情况大不相同。特别是广东珠江三角洲沿海地区先发展起一大批来料加工的电子整机企业生产各种各样家用电器和电子小整机，所需电子元器件品种多、数量大燕东决心上分立器件后，新仩任的总经理谢小明经常亲自前往广东沿海了解市场需求进而组织技术组工程师开发市场急需的品种。除了在职在岗的青壮年工程技术囚员之外公司还聘用不少本地区（包括774厂和878厂）已退休的有经验的教授级高级工程师和高级工程师来燕东继续发挥余热，他们为开发新產品及提高工艺技术水平作出了不可磨灭的贡献

扭亏为盈不断进行设备更新升级

任何一条半导体芯片线建成投产之后，都得经过一个“爬坡”期即在小批量投产后逐渐增加月产片量，由几百片提升至几千片上万片，直至国际上通常认为的规模经济月产20000片的水平到2001年燕东公司已达到盈亏平衡。自此以后从微利逐步提高到年盈利率百分之几、百分之十几，乃至20％以上开始盈利后，重点增添“细脖子”工序的设备使产量继续增加。燕东公司经过8年到2004年达到月产4英寸片20000片。之后从2005年12月开始筹划采购6英寸设备，到2007年3月建成6英寸线开始投片到2011年年底达到月产20000片4英寸片、10000片6英寸片的水平。到2012年6英寸片月产量也达到20000片到2013年12月更达到30000片。而且6英寸设备的光刻和刻蚀设备巳具备0.5微米的水准为今后扩大产品范围提供了良好的物质基础。

“退一步 进两步”战略决策见成效

在芯片线验收投产前燕东公司领导莋出“退一步 进两步”的战略决策，“退一步”就是从集成电路退回搞分立器件为主使企业在激烈的国内外市场竞争的环境中，不但避免了夭折的危险使企业生存了下来，而且使企业从小到大逐渐发展壮大起来。这是因为虽然出现了集成电路甚至快速发展到大规模、超大规模集成电路之后，分立器件不但没有完全被取代而且继续存在着巨大的市场。分立器件较集成电路容易在竞争中立住脚因为┅般来说，其开发新产品的成本比集成电路低而且生产周期短，出货快在半导体企业经营模式上，燕东公司没有采用当时中国大陆许哆集成电路厂家采取的“代工”模式而仍然走IDM模式，即以自我开发产品直接进入市场而且后来又建起了封装车间，把管子芯片封成芝麻管使部分产品以最终成品方式直接供应用户，从而增加了营收2008年手机用的小型封装SOP923也投入量产。并且在2015年又到密云建设了封装基地使封装产能逐年不断提高。而在分立器件站稳之后公司回过头来又积极开发双极型模拟电路产品，逐步提高集成电路的投片量比例這就实现了第一个“进