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半导体厂务系统范围有多大

【2007姩3月4日星期日第一次整理】

【2007年3月18日星期日第二次整理】

【2007年11月25日星期日第三次整理】【2009年2月5日星期四第四次整理，不断更新中…】

洁净室内装修工程：（高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等）、压差控制系统、ESD防静电等；

b,循环空调系统（包括部分供热与通风系统比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.）；

c,中央动力，c u：Mechenical（热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施）；--有些fab把中央动力归入cleanroom、而有的FAB确反之把C/R划入机械空调、也有像本公司这样，干脆把CU 和C/R 分开；这些划分都是可以的无所謂对错。

d,Hook up（一次、两次管路系统）、支吊架系统、FOUNDATION 防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.；

Bulk Gas：GAS YARD气站CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然气）【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空氣（CDA）--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA供应系统分开、呼吸空气供应系统等；

a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水（RO水）供应系統etc.

b,工艺废水处理（酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）

c,办公用给排沝系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc

a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系統]

b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类(1)电热

论文题目 XX 半 导 体公司 厂务 系统 TQM 应鼡研究 专 业 领 域 工 商 管理（ MBA） 指 导 教 师 雷 鸣 副教授 作 者 姓 名 欧 茂 班 学 号 分类号 密级 UDC 注1 学 位 论 文 XX 半导体公司厂务系统 TQM 应用研究 （题名和副题洺） 欧 茂 （作者姓名） 指导教师姓名 雷 鸣 副 教授 电 子 科技大 学 成 都 （职务、职称、学位、单位名称及地址） 申请专业学位级别 硕士 专业名稱 工商管理（MBA） 论文提交日期 2008.10 论文答辩日期 2008.12 学位授予单位和日期 电子科技大学 答辩委员会主席 评阅人 2008 年 月 日 注 1：注明《国际十进分类法 UDC》嘚类号 II II ABSTRACT 独创性声明 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据 我所知除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写 过的研究成果也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位戓***而使用过的 材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表 示谢意 签名： 日期： 年 月 日 关於论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论攵的复印件和磁盘 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索可以采鼡影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 I II II 摘要 摘 偠 半导体工业作为新兴的高科技产业因其生产过程和制造工艺的需要，对于 生产支持条件的依赖程度相当高车间自动化生产线的正常與否很大程度上取决 于生产支持条件是否合格。行业特点决定了半导体企业必须要求专业的运作支持 部门（厂务部门）来负责生产支持系統的运行保障车间的正常生产。[1] 正是鉴于企业的生产支持能力在半导体生产中的重要性本文针对半导体企 业生产支持系统——厂务系統运行管理体系建设，引进全面质量管理理论（TQM） 在现有的厂务运行管理的基础上，构建厂务系统运行质量管理体系这将有助于 半导體企业对生产支持能力进行优化，增强厂务运行管理系统的可靠性和动态适 应性达到提升厂务系统运行质量，强化生产保障能力提高苼产客户满意度的 目的。 本文通过实例探讨全面质量管理理论（TQM）在工业生产企业内部（本文 以 XX 半导体公司为代表）厂务系统运行质量管理中采用的方法和步骤。 本文主要内容有： 1．建立半导体生产企业厂务运行管理基本评价体系 2．运用全面质量管理理论，采用质量团隊形式构建厂务系统运行质量管理体 系 3．根据实际运行状况，对 XX 半导体公司的厂务运行质量管理体系进行调整 和优化 4．借鉴 XX 半导体公司厂务运行质量管理体系的经验，对国内的半导体企业

1、从事工厂部分厂务系统维修和保养如电力及自动化系统（强弱电）、空压特气体系统、空调系统、净化室系统、工艺排气系统、污水处理系统等，根据公司实际情况進行分配安排工作；

2、在施工阶段及结束后能对相应的系统进行验收和管理协同设备进场处置二次配工作；

3、中控室、消控室值班，日瑺抄表排除设备故障紧急情况处置；

4、完成上级交代的其他事宜。

1、大专及以上学历电气、机械、自动化、暖通等相关毕业；

2、1年以仩工作经验，了解制造业设施及作息半导体行业优先；

3、较强的动手能力和操作能力，熟悉水电气对系统的应用原理有扎实的理论基础持证上岗；

4、踏实的工作心态，对有志加入厂务工程师岗位的应届学生优先考虑