1. 一种电子级二氯二氢硅二氢硅的淛备方法及设备特征在于，包括以下步骤： SI将三氯氢硅原料经预热器（1)预热送入装填有歧化催化剂的固定床反应器(2)进行 歧化反应，得箌含有二氯二氢硅二氢硅的反应产物； S2将所述固定床反应器中的反应产物经分离塔(3)进行分离，脱除部分重组分塔顶 得到二氯二氢硅二氫硅； 53, 将所述从分离塔(3)得到二氯二氢硅二氢硅依次经过脱轻塔(9)和脱重塔(12)脱除轻组分 和剩余的重组分，得到所述电子级二氯二氢硅二氢硅； 54, 將所述分离塔（3)脱出的重组分送入三氯氢硅回收塔(6)回收三氯氢硅得到三氯 氢硅返回固定床反应器(2)循环使用，三氯氢硅回收塔(6)塔底得到硅烷

2. 根据权利要求1所述的电子级二氯二氢硅二氢硅的制备方法及设备，其特征在于所述三氯 氢硅原料中三氯氢硅的质量百分数含量大于等于3N。

内容提示：三孚股份：唐山三孚電子材料有限公司年产500吨电子级二氯二氢硅二氢硅及年产1000吨电子级三氯氢硅项目可行性研究报告

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