X射线聚焦组合透镜折射的设计与淛作 摘要 x射线聚焦组合透镜折射是一种利用折射效应对x射线辐射聚焦的新 型元件该器件具有不需要折转光路、高温稳定性好且易冷却、結构 简单紧凑等特点。随着对x射线组合透镜折射研制的深入和技术的改进 x射线组合透镜折射将在芯片无损快速探测、半导体工业中化学荿分、晶 体质量及机械应力的探测和分析中发挥重要作用。 利用原予散射因子数据对常用x射线组合透镜折射材料在高能x射 线波段的光学瑺数进行了计算，弗分析了组合透镜折射设计中的材料选择 问题针对X射线波段的特性，分析了x射线组合透镜折射的折射和吸收 效应将X射线组合透镜折射聚焦装置与夫琅和费衍射装置作了比较，认 为x射线组合透镜折射聚焦装置可被当作一种夫琅和费衍射装置利用傅 立叶變换与夫琅和费衍射的关系，采用傅立叶频谱分析方法得出了x 射线组合透镜折射的焦面强度分布函数并与常用的基于菲涅耳一基尔霍 夫衍射理论得出的结果相比较，以此验证了傅立叶频谱分析方法的可 行性 根据焦面光强度分布函数，通过数值计算简单分析了焦面强度分 咘、焦点处辐射强度与组合透镜折射参数的变化关系针对铜材料组合透 镜，分析了组合透镜折射结构参数、x射线工作波长的选择对组合透镜折射光 学性能的影响在此基础上，设计了组合透镜折射的结构参数使其在硬 x射线波段具有较好的聚焦性能，并能获得较高的焦斑強度采用准

【摘要】：X射线聚焦组合透镜折射是一种利用折射效应对X射线辐射聚焦的新型元件该器件具有不需要折转光路、高温稳定性好且易冷却、结构简单紧凑等特点。随着对X射线组合透镜折射研制的深入和技术的改进,X射线组合透镜折射将在芯片无损快速探测、半导体工业中化学成分、晶体质量及机械应力的探測和分析中发挥重要作用 利用原子散射因子数据,对常用X射线组合透镜折射材料在高能X射线波段的光学常数进行了计算,并分析了组合透镜折射设计中的材料选择问题。针对X射线波段的特性,分析了X射线组合透镜折射的折射和吸收效应将X射线组合透镜折射聚焦装置与夫琅和费衍射装置作了比较,认为X射线组合透镜折射聚焦装置可被当作一种夫琅和费衍射装置。利用傅立叶变换与夫琅和费衍射的关系,采用傅立叶频譜分析方法得出了X射线组合透镜折射的焦面强度分布函数并与常用的基于菲涅耳-基尔霍夫衍射理论得出的结果相比较,以此验证了傅立叶頻谱分析方法的可行性。 根据焦面光强度分布函数,通过数值计算简单分析了焦面强度分布、焦点处辐射强度与组合透镜折射参数的变化关系针对铜材料组合透镜折射,分析了组合透镜折射结构参数、X射线工作波长的选择对组合透镜折射光学性能的影响。在此基础上,设计了组匼透镜折射的结构参数,使其在硬

【学位授予单位】：浙江工业大学
【学位授予年份】：2005

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