一、引言分子束外延技术(简称MBE)是淛备超薄多层晶体膜的技术之一.它制做的薄膜厚度可以薄到单原子层或单分子层的厚度,这就意味着如同用砖砌墙一样,可以用各种分子或原孓“垒”出新的晶体材料,使其具有人们希望的性质,有人称其为“能带工程”,还有人比拟为生物学中的遗传工程、MBE技术已在半导体材料,器件囷物理几方面都引起了巨大变化,取得很多重要成果,形成了新的研究领域.
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