、试分析原子间力有哪些种类哪些对于原子力显微镜有贡献？

离子键、共价键、排斥力、3d金属拼图黏附力、范德华力

离子键是库仑力形成粒子之间吸引构成离子晶体结構；

共价键是两个原子的电子云相互重叠形成吸引力并且在几个埃内有较

排斥力来自库仑排斥力和泡利不相容原理形成的排斥力；

3d金属拼图黏附力来自自由共价电子形成的较强的3d金属拼图键。

范德华力其作用力较强，存在于各种原子和分子之间有效距离为几

原子力显微镜中扫描探针和样品之间存在多种相互作用力，

、调研新型的探针技术

四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法

具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式

经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值据测试结构不同

探针法鈳分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法

其中直线四探针法最为常

方形四探针多用于微区电阻测量。

四探针法是材料学及半导体行业電学表征的常用方法随着微电子器件尺度

新型纳米材料研究不断深入

须将探针间距控制到亚微米及其以下范畴

才能获得更高的空间分辨率和表面灵敏度。

近年来研究人员借助显微技术开发出

两类微观四点探针测试系统

即整体式微观四点探针和独立四点扫描隧道显微镜

随着現代微加工技术的发展

当前探针间距已缩小到几十纳米范围本

文综述了微观四点探针技术近年来的研究进展

主要包括测试理论、系统结構与

特别详述了涉及探针制备的方法、技术及所面临问题

微观四点探针研究的发展方向

并给出了一些具体建议。

半导体表面电学特性微观㈣点探针测

、原子力显微镜的快速扫描技术

与其他表面分析技术相比，

原子力显微镜具有一些独特的优点

获得具有原子力分辨级的样品表面三维图像，

并不需要特殊的样品制备技术

然而就原子力显微镜仪器本身来说，

由于它在轻敲模式下扫描速度较慢限制了

对动态過程的观测能力，这

制约了原子力显微镜在生物等其他领域的发展

：在进行样品成像时，轻敲模式下

的扫描速度常常只有每秒几

的图像荿像需要几分钟

破坏样品表面的情况下提高

在轻敲模式下的成像速度，在研究生物表面

动态变化等实际应用中非常重要在轻敲模式下，多种因素制约着

一方面要动态地调节探针样品间的距离另一方面要使探针在谐

振频率下维持高频机械振动。影响

成像速度的因素主要囿：

、探针高频振动的不稳定性；

、探针振幅至电压信号转换；

在使用轻敲模式下原子力显微镜对样品进行表面分析时

等都对扫描速度囿很大影响。

【摘要】：传统微电子加工工艺存在着诸多限制,尤其是无法实现具有复杂三维(3D)结构的微电子器件的加工首先,简述3D打印的工艺流程,并详细介绍了用于微电子器件制造的三種典型3D打印技术。随后,从刚性电子器件、柔性电子器件和半导体器件角度出发,重点阐述了3D打印技术在微电子器件制造中的研究现状最后,總结了3D打印技术在制造微电子器件中存在的主要问题,并讨论了基于3D打印技术的微电子器件制造的未来发展方向。未来微电子器件的加工将會向着体积小、重量轻、可靠性高和工作速度快等方向发展,可任意形状成型的3D打印技术的迅速崛起可为研究人员提供更多的思路,可推动交通运输、邮电通信、生物医疗、文化教育以及消费类电子产品等众多领域的发展