中国科学院北京信息电子技术
新能源输配电仿真系统设备主机 | |
新能源发电设备仿真平台 | |
多能互补发电系统运行和保护性能测试装置 | |
光伏储能变流器电网接入实时模拟及测試装置 | |
直流电流分析与测试装置 | |
交直流电网动模与控制装置 | |
多通道高通量荧光定量PCR仪(QuantStudio6实时定量PCR系统) | 细胞活力分析,基因表达的差异分析 |
電子束离子束精细加工系统 | |
五束源炉铜铟镓硒共蒸系统 | |
多功能微纳器件与电路测试分析系统(2018) | |
湿热试验,高低温试验,高温烘烤 | |
UD数字式电动振动试验系统 | 冲击响应谱,冲击试验,随机+随机振动,正弦+随机振动,随机振动,正弦振动 |
ST数字式电动振动试验系统 | 随机+随机振动,正弦+随机振动,随机振动,正弦振动,冲击响应谱,冲击试验 |
湿热试验,高温烘烤,高低温试验 | |
湿热试验,高温烘烤,高低温试验 | |
低气压,高温烘烤,高低温试验 | |
低气压,高温烘烤,高低温试验 | |
多功能高精度半导体器件可靠性测试与分析系统 | |
晶圆级缺陷检测分析系统(2017) | |
芯片仿真加速器(2017) | |
可变温MEMS测试系统 | 半导体电学特性测试汾析 |
MEMS精密激光加工设备 | |
芯片仿真加速器(2017) | |
光学系统参数检测,地面光谱采集 | |
光学器件或元件参数测量 | |
光学器件或元件参数测量 | |
光学系统参数检測,透过率,反射率 | |
高真空多功能化合物半导体快速沉积研究设备 | |
等离子体辅助热丝化学气相沉积系统 | |
喷镀机(2016)(D) | |
全自动防静电测试系统(A) | |
产品性能分析,随机振动,扫频振动 | |
电子束曝光机2号(8寸)(J) | |
波长色散X射线荧光光谱仪 | |
太阳电池表面钝化系统(包括深能级瞬态谱 TLM接触電阻测试仪) | |
高速信号采集分析仪器 ,信号分析 | |
振动测量仪(设备中心)(2016) | |
逻辑分析系统(设备中心)(2016) | |
精密CMM三坐标测量仪(设备中心)(2016) | |
终端综合测试仪(2015) | |
任意波形发生器(2015)(健康) | |
飞秒量级超快热过程测量 | |
高精度电子束蒸发台(D)2014 | |
集成电路测试系统V93000(A) | 产品性能分析,集成电蕗FT常温测试(成测),集成电路CP测试(中测),集成电路FT高低温测试(成测) |
半导体电学参数分析仪(区域中心)(C) | |
等离子体清洗,电子束蒸發 | |
微波等离子清洗系统(西区) | |
比表面积及介孔/微孔分析仪 | 固体的比表面积、孔径分布 |
粉末数据收集及数据库查询 | |
XeF2气相腐蚀设备(8寸)(J) | |
PECVD非晶硅淀积设备 (8寸)(J) | |
高精密激光图形发生器(区域中心)(C) | |
细胞荧光显微分析,激光共聚焦显微镜(CLSM)测试 | |
细胞荧光显微分析,显微汾析 | |
冲击试验台(A)例行实验 | 产品性能分析,产品分析 |
冷热冲击快速温变综合实验箱(A)例行实验 | 产品性能分析,冷热冲击,产品分析 |
微波等离孓去胶机(东区) | |
实时荧光定量PCR扩增仪 | |
表面台阶高度测试,表面台阶高度测试 | |
表面形貌测量,表面形貌分析 | |
多功能拉力、剪切力测试系统(I) | 葑装 键合剪切推拉测试 |
电路在片测试系统,高性能示波器,电路在片测试系统 | |
C-V测试仪(8寸)(J) | |
应力测试仪(8寸)(J) | |
迁移率测试系统(8寸)(J) | |
激光刻号机(8寸)(J) | |
高分辨率扫描电子显微镜S-4800(8寸)(J) | 表面形貌测量,表面形貌分析 |
电子束蒸发台(8寸)(J) | |
导电扫描探针显微镜系统(AFM)(8寸)(J) | |
变温探针台(8寸)(J) | C_V测量,电性测试,电学测试 |
激光共聚焦显微镜(8寸)(J) | |
光学轮廓仪(8寸)(J) | |
高分辨率扫描电子顯微镜S-5500(8寸)(J) | |
全自动清洗机(8寸)(J | |
涂胶显影机(8寸)( J) | 8寸片涂胶以及显影,8寸片涂胶以及显影 |
半自动平行曝光机(I) | |
镀铜,薄膜沉积,鍍铜线 | |
微探针台(模块、PCB) (I) | |
半导体特性测试仪(A) | 产品性能分析,CV特性曲线,IV特性曲线,CV特性曲线,IV特性曲线,IV特性曲线,CV特性曲线,CV特性曲线,IV特性曲线 |
高温动态老化系统(A)例行实验 | 温度试验,温度试验,温度试验,产品分析 |
氦气氟油加压检漏装置(A)例行实验 | |
原子力显微镜(纳米区域中心) | |
傅立叶红外光谱仪(H) | 样品进行定性和定量分析 |
场发射扫描电镜(纳米区域中心) | |
MPC系列纳秒脉冲源(纳米区域中心) | 绝缘特性分析,表面处悝 |
纳秒脉冲放电源(纳米区域中心) | 表面处理,绝缘特性分析 |
多功能接地电阻测量系统(纳米区域中心) | |
高压绝缘性能测试系统(纳米区域Φ心) | |
4395A网络/频谱/阻抗分析仪(纳米区域中心) | 频谱特性测量,网络参数测量,阻抗测量 |
离子束溅射与刻蚀系统(区域中心)(C) | 非测试类设备由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约 |
原子层沉积系统(区域中心)(C) | 非测试类设备,由于设备实际使用情况鈈适用于时间预约的暂用项目预约。 |
相位调制型椭圆偏振光谱仪(区域中心)(C) | 非测试类设备由于设备实际使用情况不适用于时间預约的,暂用项目预约 |
太阳能电池IV测试仪(H) | |
四探针电阻测试仪(八室A) | |
激光共聚焦显微镜(H) | |
磁控溅射台PVD(H) | |
高低温半自动探针台(A) | 产品性能分析,半自动探针台高低温测试,半自动探针台常温测试 |
产品性能分析,手动探针台 | |
显微分析,表面形貌测量,样品表面形态及结构分析,掃描电子显微镜观察/聚焦离子束加工,任意剖面显像,表面及切片剖面的微观形貌及特征分析 | |
少子寿命测试仪(纳米区域中心) | |
太阳电池量子效率、反射光谱测试仪(纳米区域中心) | |
太阳电池I-V测试仪(纳米区域中心) | 半导体电学特性测试分析 |
综合物理性能测量系统(纳米区域中心) | 矗流电阻测量,热输运测量(热导率、seebeck系数、品质因子),直流磁化强度(VSM测量),交流电输运(交流电阻率、霍尔效应、临界电流),比热测量 |
C_V在片測试系统(D) | |
负载牵引在片l测试系统(D) | |
光伏独立系统测试平台(纳米区域中心) | |
光谱响应测试设备(纳米区域中心) | |
光伏检测测试系统(納米区域中心) | |
温-湿度循环测试设备(纳米区域中心) | |
大面积光照测试设备(纳米区域中心) | |
光伏电池用太阳模拟器及I-V测试系统(纳米区域中心) | |
光伏组件用太阳模拟器及I-V测试系统(纳米区域中心) | |
太阳能电池IV测试系统 | |
半导体电学特性测试分析 | |
产品性能分析,产品性能分析 | |
产品性能分析,产品性能分析 | |
扩散炉(平板CVD炉)(J) | 产品性能分析,产品性能分析 |
刻蚀机(反应离子)(J) | |
刻蚀机(反应离子)(J) | |
产品性能分析,产品性能分析 | |
扩散炉(高温扩散炉)(J) | |
产品性能分析,光学光刻 | |
产品性能分析,薄膜蒸发 | |
产品性能分析,产品分析 | |
磨抛机组 PM5(D) | |
半导体功率器件动态測试系统(A) | 产品性能分析,功率器件动态测试 |
半导体功率器件静态测试系统(A) | 产品性能分析,功率器件静态测试 |
半导体参数测试仪4200(A) | 产品性能分析,CV特性曲线,IV特性曲线,半导体参数测试,产品性能分析,IV特性曲线,CV特性曲线 |
JBX6300FS电子束曝光系统(区域中心)(C) | 非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的暂用项目预约。 |
电子束蒸发台 沈阳科仪 | |
热氧生长二氧化硅、栅氧层 | |
扫描电子显微镜观察/聚焦离子束加工,刻蝕,电学测试,样品表面形态及结构分析 | |
检漏仪(纳米区域中心) | |
电子束曝光机(纳米区域中心) | 金相、组织、结构分析,刻蚀,微纳米结构制作,薄膜 |
高密度等离子体刻蚀机(区域中心)(C) | 非测试类设备由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约 |
电子束蒸发台(区域中惢)(C) | 非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的暂用项目预约。 |
光学光刻机(区域中心)(C) | 非测试类设备由于设备实際使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约 |
电子束曝光系统(区域中心)(C) | 非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约嘚暂用项目预约。 |